Indiumtinokside (Indiumtinokside, ek wol ITO neamd) is in healgeleidermateriaal fan it n-type mei in brede bânkloof, swier dopearre, mei hege sichtbere ljochttransmittânsje en lege wjerstân, en wurdt dêrom in soad brûkt yn sinnesellen, platte skermen, elektrochrome finsters, anorganyske en organyske tinne-film elektrolumineszinsje, laserdiodes en ultraviolette detektoren en oare fotovoltaïske apparaten, ensfh. D'r binne in protte metoaden foar it tarieden fan ITO-films, ynklusyf pulsearre laserôfsetting, sputtering, gemyske dampôfsetting, termyske sprayûntleding, sol-gel, ferdamping, ensfh. Under de ferdampingsmetoade is de meast brûkte elektronenstrielferdamping.
Der binne in soad manieren om ITO-film ta te rieden, ynklusyf pulsearre laserôfsetting, sputterjen, gemyske dampôfsetting, spraypyrolyse, sol-gel, ferdamping en sa fierder, wêrfan de meast brûkte ferdampingsmetoade elektronenstrielferdamping is. Ferdampingstarieding fan ITO-films hat meastentiids twa manieren: ien is it brûken fan in hege-suverens In, Sn-legering as boarnemateriaal, yn 'e soerstofatmosfear foar de reaksjeferdamping; de twadde is it brûken fan in hege-suverens In2O3:, SnO2-mingsel as boarnemateriaal foar direkte ferdamping. Om de film mei hege transmittânsje en lege wjerstân te meitsjen, is oer it algemien in hegere substraattemperatuer nedich of de needsaak foar de neifolgjende gloeiing fan 'e film. HR Fallah et al. brûkten de elektronenstrielferdampingsmetoade by lege temperatueren om ITO-tinne films ôf te setten, om it effekt fan 'e ôfsettingssnelheid, gloeitemperatuer en oare prosesparameters op' e struktuer fan 'e film, elektryske en optyske eigenskippen te bestudearjen. Se wiisden derop dat it ferleegjen fan 'e ôfsettingssnelheid de transmittânsje ferheegje en de wjerstân fan' e lege-temperatuer-groeide films ferminderje koe. De transmittânsje fan sichtber ljocht is mear as 92%, en de wjerstân is 7X10-4Ωcm. Se hawwe de ITO-films dy't by keamertemperatuer groeid binne by 350~550 ℃ gloeid, en fûnen dat hoe heger de gloeitemperatuer is, hoe better de kristallijne eigenskip fan ITO-films. De sichtbere ljochttransmittânsje fan 'e films nei gloeien by 550 ℃ is 93%, en de korrelgrutte is sawat 37 nm. De plasma-assistearre metoade kin ek de substraattemperatuer ferminderje tidens filmfoarming, wat de wichtichste faktor is yn 'e foarming fan' e film, en de kristalliniteit is ek it wichtichste. De plasma-assistearre metoade kin ek de substraattemperatuer ferminderje tidens filmfoarming, en de ITO-film dy't krigen wurdt út 'e ôfsetting hat goede prestaasjes. De wjerstân fan 'e ITO-film taret troch S. Laux et al. is tige leech, 5*10-”Ωcm, en de absorpsje fan ljocht by 550nm is minder as 5%, en de wjerstân fan 'e film en de optyske bânbreedte wurde ek feroare troch de soerstofdruk te feroarjen tidens de ôfsetting.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: 23 maart 2024