Le processus de revêtement ionique à cathode creuse est le suivant :
1、Mettez les lingots de Chin dans l'effondrement.
2、Montage de la pièce.
3、Après avoir évacué à 5×10-3Pa, du gaz argon est introduit dans la chambre de revêtement à partir du tube d'argent, et le niveau de vide est d'environ 100Pa.
4、Allumez l'alimentation de polarisation.
5、Après avoir allumé l'alimentation de l'arc pour allumer la décharge de cathode creuse. La décharge luminescente est générée dans le tube bouton, la tension de décharge est de 800~1000V, le courant d'élévation de l'arc est de 30~50A.En raison de l'effet de cathode creuse de la décharge luminescente, la densité de courant de décharge luminescente élevée, la densité élevée d'ions de rapport dans le tube d'argent bombarde la paroi du tube de vantage, fait que la paroi du tube se réchauffe rapidement jusqu'à l'émission du flux d'électrons, le mode de décharge de la décharge luminescente change soudainement en décharge d'arc, la tension est de 40~70V, le courant est de 80~300A.La température du tube d'argent atteint plus de 2300K, incandescent, émet un flux de haute densité d'électrons d'arc du tube et est projeté vers l'anode.
6. Réglage du niveau de vide. Le niveau de vide pour la décharge luminescente du pistolet à cathode creuse est d'environ 100 Pa et le degré de vide du revêtement est de 8 × 10-1~2 Pa. Par conséquent, après l'allumage de la décharge d'arc, réduisez le gaz argon entrant dès que possible, ajustez le niveau de vide à une plage adaptée au revêtement.
7. Couche de base plaquée en titane. Flux d'électrons sur le lingot de métal Chin effondré anodiquement, conversion de l'énergie cinétique en énergie thermique, évaporation du métal Chin par chauffage, les atomes de vapeur atteignent la pièce pour former un film de titane.
8、Dépôt de TiN. L'azote gazeux est fourni à la chambre de revêtement, l'azote gazeux et les atomes évaporés sont ionisés en ions azote et titane. Au-dessus du creuset, probabilité plus élevée de collisions inélastiques d'atomes de vapeur de titane avec des flux denses d'électrons de faible énergie, le taux de dissociation du métal est aussi élevé que 20% ~ 40%., Les ions titane sont plus susceptibles de réagir chimiquement avec l'azote gazeux de réaction, dépôt pour obtenir une couche de film de manteau de nitrure. Le pistolet à cathode creuse est à la fois une source de vaporisation, une autre source d'ionisation. Pendant le revêtement, le courant de la bobine électromagnétique autour du creuset doit également être ajusté, focaliser le faisceau d'électrons sur le centre de l'effondrement, ainsi, la densité de puissance du flux d'électrons est augmentée.
9. Mise hors tension. Une fois que l'épaisseur du film atteint l'épaisseur de film prédéterminée, coupez l'alimentation de l'arc, l'alimentation de polarisation et l'alimentation en air.
Date de publication : 08/07/2023