Katodo hutsaren ioien estalduraren prozesua honako hau da:
1. Jarri kokots lingoteak kolapsoan.
2. Lan-pieza muntatzea.
3、5×10-3Pa-ra hustu ondoren, argon gasa sartzen da estaldura-ganberan zilarrezko hoditik, eta hutsune-maila 100Pa ingurukoa da.
4. Piztu alborapen-potentzia.
5. Arkuaren potentzia piztu ondoren, katodo hutsaren deskarga pizteko. Deskarga distiratsua botoi-hodian sortzen da. Deskarga-tentsioa 800~1000V-koa da, eta arkua igotzeko korrontea 30~50A-koa da. Deskarga distiratsuaren katodo hutsaren efektuagatik, deskarga distiratsuaren korronte-dentsitate handia dago. Zilarrezko hodiko ioi-dentsitate handiak abantaila-hodiaren horma bonbardatzen du. Hodiaren horma azkar berotzen da elektroi-fluxua igortzeko. Deskarga distiratsuaren deskarga-modua bat-batean arku-deskargara aldatzen da. Tentsioa 40~70V-koa da eta korrontea 80~300A-koa. Zilarrezko hodiaren tenperatura 2300K-tik gorakoa da. Goria da. Dentsitate handiko arku-elektroi-jarioa igortzen du hoditik eta anodora jaurtitzen da.
6. Hutsune-mailaren doikuntza. Katodo hutseko pistolatik ateratzen den distira-deskargaren hutsune-maila 100 Pa ingurukoa da, eta estalduraren hutsune-maila 8 × 10-1 ~ 2 Pa da. Beraz, arku-deskargaren piztearen ondoren, sarrerako argon gasa ahalik eta azkarren murriztu, eta hutsune-maila estaldurarako egokia den tarte batera egokitu.
7、Titaniozko oinarri geruza. Elektroien fluxua anodikoki kolapsatutako Chin metal lingotearen gainean, energia zinetikoa energia termiko bihurtzea, Chin metalaren lurrunketa berotuz, lurrun-atomoak piezara iristen dira titaniozko film bat osatzeko.
8. TiN-aren metaketa. Nitrogeno gasa estaldura-ganberara hornitzen da, nitrogeno gasa eta lurrundutako atomoak nitrogeno eta titanio ioietan ionizatzen dira. Gurgolaren gainean, titanio-lurrun atomoen eta energia baxuko elektroi-jario trinkoen arteko talka ez-elastikoen probabilitatea handiagoa da, metalaren disoziazio-tasa % 20-% 40 artekoa da, titanio ioiek erreakzio kimikoa izateko aukera handiagoa dute nitrogeno gasarekin, metaketa nitruro mantuko film geruza bat lortzeko. Katodo hutseko pistola lurruntze-iturri bat da, ionizazio-iturri bat. Estalduraren zehar, gurutzaren inguruko bobina elektromagnetikoaren korrontea ere doitu behar da, elektroi-sorta kolapsoaren erdian fokatu, horrela, elektroi-fluxuaren potentzia-dentsitatea handitzen da.
9. Itzali. Filmaren lodiera aurrez zehaztutako lodierara iritsi ondoren, itzali arkuaren elikatze-iturria, polarizazio-iturria eta aire-iturria.
Argitaratze data: 2023ko uztailak 8