Recubrimiento de ionesmáquina Se originó a partir de la teoría propuesta por DM Mattox en la década de 1960, y los experimentos correspondientes comenzaron en esa época. Hasta 1971, Chambers y otros publicaron la tecnología de recubrimiento iónico por haz de electrones. La tecnología de recubrimiento por evaporación reactiva (ARE) se señaló en el informe Bunshah en 1972, cuando se produjeron tipos de películas superduras como TiC y TiN. También en 1972, Smith y Molley adoptaron la tecnología de cátodo hueco en el proceso de recubrimiento. Para la década de 1980, el recubrimiento iónico en China finalmente había alcanzado el nivel de aplicación industrial, y los procesos de recubrimiento como el recubrimiento iónico multiarco al vacío y el recubrimiento iónico por descarga de arco habían aparecido sucesivamente.
Todo el proceso de trabajo del recubrimiento iónico al vacío es el siguiente: primero,bombala cámara de vacío, y luegoesperarla presión de vacío a 4X10 ⁻ ³ Pao mejorEs necesario conectar la fuente de alimentación de alto voltaje y construir un área de plasma de baja temperatura con gas de descarga de bajo voltaje entre el sustrato y el evaporador. Conecte el electrodo del sustrato con un alto voltaje negativo de 5000 V CC para formar una descarga luminiscente del cátodo. Los iones de gas inerte se generan cerca del área luminiscente negativa. Entran en el área oscura del cátodo, son acelerados por el campo eléctrico y bombardean la superficie del sustrato. Este es un proceso de limpieza y luego ingresa al proceso de recubrimiento. A través del efecto del calentamiento por bombardeo, algunos materiales de recubrimiento se vaporizan. El área de plasma entra en los protones, choca con electrones e iones de gas inerte, y una pequeña parte de ellos se ioniza. Estos iones ionizados con alta energía bombardearán la superficie de la película y mejorarán la calidad de la película en cierta medida.
El principio del recubrimiento iónico al vacío es el siguiente: en la cámara de vacío, utilizando el fenómeno de descarga de gas o la parte ionizada del material vaporizado, bajo el bombardeo de iones del material vaporizado o iones de gas, se depositan simultáneamente estas sustancias vaporizadas o sus reactivos sobre el sustrato para obtener una película delgada. El recubrimiento iónicomáquinaCombina la evaporación al vacío, la tecnología de plasma y la descarga luminiscente de gas, lo que no solo mejora la calidad de la película, sino que también amplía su rango de aplicación. Las ventajas de este proceso son una fuerte difracción, una buena adhesión de la película y la variedad de materiales de recubrimiento. El principio del recubrimiento iónico fue propuesto por primera vez por DM Mattox. Existen muchos tipos de recubrimiento iónico. El más común es el calentamiento por evaporación, que incluye el calentamiento por resistencia, el calentamiento por haz de electrones, el calentamiento por haz de electrones de plasma, el calentamiento por inducción de alta frecuencia y otros métodos de calentamiento.
Hora de publicación: 14 de febrero de 2023