Proceso de recubrimiento iónico de cátodo hueco

El proceso de recubrimiento iónico de cátodo hueco es el siguiente:

1、Coloque los lingotes de Chin en el colapso.

2、Montaje de la pieza de trabajo.

3、Después de evacuar a 5×10-3Pa, se introduce gas argón en la cámara de recubrimiento desde el tubo de plata y el nivel de vacío es de alrededor de 100 Pa.

4、Encienda la alimentación de polarización.

5, después de encender la energía del arco para encender la descarga de cátodo hueco. La descarga luminiscente se genera en el tubo de botón, el voltaje de descarga es de 800 ~ 1000 V, la corriente de aumento del arco es de 30 ~ 50 A. Debido al efecto de cátodo hueco de la descarga luminiscente, la alta densidad de corriente de descarga luminiscente, la alta densidad de iones de ración en el tubo de plata bombardea la pared del tubo de ventaja, hace que la pared del tubo se caliente rápidamente hasta la emisión del flujo de electrones, el modo de descarga de la descarga luminiscente cambia repentinamente a la descarga de arco, el voltaje es de 40 ~ 70 V, la corriente es de 80 ~ 300 A. La temperatura del tubo de plata alcanza más de 2300 K, incandescente, emite una corriente de alta densidad de electrones de arco desde el tubo y se dispara al ánodo.

6、Ajuste del nivel de vacío. El nivel de vacío para la descarga luminiscente de la pistola de cátodo hueco es de aproximadamente 100 Pa, y el grado de vacío de recubrimiento es de 8×10-1~2 Pa. Por lo tanto, después del encendido de la descarga del arco, reduzca el gas argón entrante lo antes posible, ajuste el nivel de vacío a un rango adecuado para el recubrimiento.

7、Capa base revestida de titanio. Flujo de electrones sobre el lingote de metal Chin colapsado anódicamente, conversión de energía cinética en energía térmica, evaporación del metal Chin por calentamiento, los átomos de vapor llegan a la pieza de trabajo para formar una película de titanio.

8、Deposición de TiN. Se suministra gas nitrógeno a la cámara de recubrimiento, el gas nitrógeno y los átomos evaporados se ionizan en iones de nitrógeno y titanio. Por encima del crisol, mayor probabilidad de colisiones inelásticas de átomos de vapor de titanio con corrientes densas de electrones de baja energía, la tasa de disociación del metal es tan alta como 20% ~ 40%., Los iones de titanio tienen más probabilidades de reaccionar químicamente con el nitrógeno del gas de reacción, deposición para obtener una capa de película de manto de nitruro. El cañón de cátodo hueco es tanto una fuente de vaporización, otra fuente de ionización. Durante el recubrimiento, la corriente de la bobina electromagnética alrededor del crisol también debe ajustarse, enfocar el haz de electrones al centro del colapso, por lo tanto, se aumenta la densidad de potencia del flujo de electrones.

9、Apagado. Una vez que el espesor de la película alcance el espesor de película predeterminado, apague la fuente de alimentación del arco, la fuente de alimentación de polarización y el suministro de aire.