Procezo de kava katoda jona tegaĵo

La procezo de kava katoda jona tegaĵo estas jena:

1. Metu mentonajn orbrikojn en la kolapson.

2. Muntado de la laborpeco.

3. Post vakuado ĝis 5×10⁻³Pa, argona gaso estas enkondukita en la tegaĵan ĉambron el la arĝenta tubo, kaj la vakua nivelo estas ĉirkaŭ 100Pa.

4. Ŝaltu la biasan potencon.

5. Post ŝaltado de la arka potenco, oni ekbruligas la kavan katodan malŝargon. La lumelektro estas generita en la butontubo. La malŝarga tensio estas 800~1000V, la arko-levanta kurento estas 30~50A. Pro la kava katoda efiko de lumelektro, la alta denseco de lumelektrofluoj, la alta denseco de ratjonoj en la arĝenta tubo bombardas la muron de la vantage-tubo, igante la tubmuron rapide varmiĝi pro la elsendo de elektrona fluo. La malŝarga reĝimo de la lumelektro subite ŝanĝiĝas al arka malŝargo. La tensio estas 40~70V, la kurento estas 80~300A. La temperaturo de la arĝenta tubo atingas pli ol 2300K. Inkandeska, ĝi elsendas alt-densecan fluon de arkaj elektronoj el la tubo, kaj ĝi estas pafita al la anodo.

6. Alĝustigo de la vakuonivelo. La vakuonivelo por eklumo de kava katoda pafilo estas ĉirkaŭ 100 Pa, kaj la vakuogrado de la tegaĵo estas 8×10⁻¹~2Pa. Tial, post ekbruligo de la arka elŝuto, reduktu la alvenantan argongason kiel eble plej baldaŭ, kaj alĝustigu la vakuonivelon al taŭga intervalo por tegaĵo.

7. Titania tegita baza tavolo. Elektronfluo sur la anode kolapsintan mentonan metalan orbrikon, konverto de kineta energio al varmenergio, vaporiĝo de mentona metalo per varmigo, vaporatomoj atingas la laborpecon por formi titanian filmon.

8. Deponado de TiN. Nitrogena gaso estas liverata al la tega ĉambro. Nitrogena gaso kaj vaporiĝintaj atomoj estas jonigitaj en nitrogenajn kaj titanajn jonojn. Super la krisolo, pli alta probableco de malelastaj kolizioj de titanaj vaporatomoj kun densaj fluoj de malalt-energiaj elektronoj, la metala disociiĝofteco estas tiel alta kiel 20%~40%. Titanaj jonoj pli emas reagi kemie kun la nitrogena reakcia gaso. Deponado por akiri nitridan mantelfilman tavolon. La kava katoda pafilo estas kaj vaporiga fonto, alia fonto de jonigo. Dum la tegado, la kurento de la elektromagneta bobeno ĉirkaŭ la krisolo ankaŭ devas esti alĝustigita. Fokusu la elektronfaskon al la centro de la kolapso, tiel la potenca denseco de la elektronfluo pliiĝas.

9. Malŝaltu la elektron. Post kiam la dikeco de la filmo atingas la antaŭdifinitan dikecon de la filmo, malŝaltu la arkan elektroprovizon, la biasan elektroprovizon kaj la aerprovizon.