Gorchudd ïonpeiriant yn tarddu o'r ddamcaniaeth a gynigiwyd gan DM Mattox yn y 1960au, a dechreuodd arbrofion cyfatebol ar y pryd; Hyd at 1971, cyhoeddodd Chambers ac eraill dechnoleg platio ïonau trawst electron; Tynnwyd sylw at y dechnoleg platio anweddu adweithiol (ARE) yn adroddiad Bunshah ym 1972, pan gynhyrchwyd mathau o ffilmiau caled iawn fel TiC a TiN; Hefyd ym 1972, mabwysiadodd Smith a Molley y dechnoleg catod gwag yn y broses orchuddio. Erbyn yr 1980au, roedd y platio ïonau yn Tsieina o'r diwedd wedi cyrraedd lefel y cymhwysiad diwydiannol, ac roedd y prosesau cotio fel platio ïonau aml-arc gwactod a phlatio ïonau rhyddhau arc wedi ymddangos yn olynol.
Mae'r broses waith gyfan o blatio ïon gwactod fel a ganlyn: yn gyntaf,pwmpy siambr gwactod, ac ynaarosy pwysedd gwactod i 4X10 ⁻ ³ Paneu well, mae angen cysylltu'r cyflenwad pŵer foltedd uchel ac adeiladu ardal plasma tymheredd isel o nwy rhyddhau foltedd isel rhwng y swbstrad a'r anweddydd. Cysylltwch electrod y swbstrad â foltedd uchel negatif 5000V DC i ffurfio rhyddhau tywynnu o'r catod. Cynhyrchir ïonau nwy anadweithiol ger yr ardal tywynnu negatif. Maent yn mynd i mewn i'r ardal dywyll catod ac yn cael eu cyflymu gan y maes trydan ac yn peledu wyneb y swbstrad. Mae hon yn broses lanhau, ac yna'n mynd i mewn i'r broses orchuddio. Trwy effaith gwresogi bomio, mae rhai deunyddiau platio yn anweddu. Mae'r ardal plasma yn mynd i mewn i'r protonau, yn gwrthdaro ag electronau ac ïonau nwy anadweithiol, ac mae rhan fach ohonynt yn cael eu hïoneiddio, Bydd yr ïonau ïoneiddiedig hyn ag egni uchel yn peledu wyneb y ffilm ac yn gwella ansawdd y ffilm i ryw raddau.
Egwyddor platio ïonau gwactod yw: yn y siambr gwactod, gan ddefnyddio'r ffenomen rhyddhau nwy neu'r rhan ïoneiddiedig o'r deunydd anweddedig, o dan fomio'r ïonau deunydd anweddedig neu ïonau nwy, mae'r sylweddau anweddedig hyn neu eu hadweithyddion ar yr un pryd yn cael eu dyddodi ar y swbstrad i gael ffilm denau. Y cotio ïonaupeiriantyn cyfuno anweddiad gwactod, technoleg plasma a rhyddhau tywynnu nwy, sydd nid yn unig yn gwella ansawdd y ffilm, ond hefyd yn ehangu ystod cymhwysiad y ffilm. Manteision y broses hon yw diffractiad cryf, adlyniad ffilm da, ac amrywiol ddeunyddiau cotio. Cynigiwyd egwyddor platio ïon gyntaf gan DM Mattox. Mae yna lawer o fathau o blatio ïon. Y math mwyaf cyffredin yw gwresogi anweddiad, gan gynnwys gwresogi gwrthiant, gwresogi trawst electron, gwresogi trawst electron plasma, gwresogi sefydlu amledd uchel a dulliau gwresogi eraill.
Amser postio: Chwefror-14-2023