Proses o orchuddio ïon catod gwag

Mae'r broses o orchuddio ïon catod gwag fel a ganlyn:

1. Rhowch ingotau Chin yn y cwymp.

2、Mowntio'r darn gwaith.

3. Ar ôl gwagio i 5 × 10-3Pa, cyflwynir nwy argon i'r siambr cotio o'r tiwb arian, ac mae'r lefel gwactod tua 100Pa.

4、Trowch y pŵer rhagfarn ymlaen.

5. Ar ôl troi pŵer yr arc ymlaen i danio'r rhyddhau catod gwag. Cynhyrchir y rhyddhau tywynnu yn y tiwb botwm. Mae'r foltedd rhyddhau yn 800 ~ 1000V. Mae'r cerrynt codi arc yn 30 ~ 50A. Oherwydd effaith catod gwag y rhyddhau tywynnu. Mae dwysedd cerrynt rhyddhau tywynnu yn uchel. Mae dwysedd uchel yr ïonau rat yn y tiwb arian yn peledu wal y tiwb mantais. Mae wal y tiwb yn cynhesu'n gyflym i allyriadau llif electronau. Mae'r modd rhyddhau o'r rhyddhau tywynnu yn newid yn sydyn i ryddhau arc. Mae'r foltedd yn 40 ~ 70V. Mae'r cerrynt yn 80 ~ 300A. Mae tymheredd y tiwb arian yn cyrraedd uwchlaw 2300K. Mae'n wynias. Mae'n allyrru nant dwysedd uchel o electronau arc o'r tiwb, ac yn cael eu saethu i'r anod.

6、Addasu lefel y gwactod. Mae lefel y gwactod ar gyfer rhyddhau tywynnu o'r gwn catod gwag tua 100 Pa, ac mae gradd gwactod y cotio yn 8 × 10-1 ~ 2Pa. Felly, ar ôl tanio'r rhyddhau arc, lleihewch y nwy argon sy'n dod i mewn cyn gynted â phosibl, addaswch lefel y gwactod i ystod sy'n addas ar gyfer cotio.

7、Haen sylfaen wedi'i phlatio â titaniwm. Llif electronau ar yr ingot metel Chin sydd wedi cwympo'n anodig,Trosi ynni cinetig yn ynni thermol,Anweddiad metel Chin trwy wresogi,Mae atomau anwedd yn cyrraedd y darn gwaith i ffurfio ffilm titaniwm.

8、Dyddodiad TiN. Cyflenwir nwy nitrogen i'r siambr cotio, Caiff nwy nitrogen ac atomau anweddedig eu hïoneiddio'n ïonau nitrogen a thitaniwm. Uwchben y croeslin, Tebygolrwydd uwch o wrthdrawiadau anelastig atomau anwedd titaniwm â ffrydiau trwchus o electronau ynni isel, Mae'r gyfradd daduniad metel mor uchel â 20% ~ 40%., Mae ïonau titaniwm yn fwy tebygol o adweithio'n gemegol â'r nwy adwaith nitrogen, Dyddodiad i gael haen ffilm mantell nitrid. Mae'r gwn catod gwag yn ffynhonnell anweddu, Ffynhonnell arall o ïoneiddio. Yn ystod cotio, Dylid addasu cerrynt y coil electromagnetig o amgylch y croeslin hefyd, Canolbwyntiwch y trawst electron i ganol y cwymp, Felly, cynyddir dwysedd pŵer llif electronau.

9. Diffoddwch y Pŵer. Ar ôl i drwch y ffilm gyrraedd y trwch ffilm a bennwyd ymlaen llaw, diffoddwch y cyflenwad pŵer arc, y cyflenwad pŵer bias a'r cyflenwad aer.