Mae ocsid tun indiwm (Ocsid Tun Indiwm, y cyfeirir ato fel ITO) yn ddeunydd lled-ddargludyddion math-n wedi'i dopio'n drwm â bwlch band eang, gyda throsglwyddiad golau gweladwy uchel a nodweddion gwrthedd isel, ac felly fe'i defnyddir yn helaeth mewn celloedd solar, arddangosfeydd panel fflat, ffenestri electrocromig, electroluminescence ffilm denau anorganig ac organig, deuodau laser a synwyryddion uwchfioled a dyfeisiau ffotofoltäig eraill, ac ati. Mae yna lawer o ddulliau o baratoi ffilmiau ITO, gan gynnwys dyddodiad laser pwls, chwistrellu, dyddodiad anwedd cemegol, dadelfennu thermol chwistrellu, sol-gel, anweddiad, ac ati. Ymhlith y dull anweddu, y dull anweddu a ddefnyddir amlaf yw anweddiad trawst electron.
Mae yna lawer o ffyrdd o baratoi ffilm ITO, gan gynnwys dyddodiad laser pwls, chwistrellu, dyddodiad anwedd cemegol, pyrolysis chwistrellu, sol-gel, anweddiad ac yn y blaen, a'r dull anweddu a ddefnyddir amlaf yw anweddiad trawst electron. Mae gan baratoi anweddiad ffilmiau ITO ddwy ffordd fel arfer: un yw defnyddio aloi In, Sn purdeb uchel fel y deunydd ffynhonnell, yn yr awyrgylch ocsigen ar gyfer anweddiad yr adwaith; yr ail yw defnyddio cymysgedd In2O3:, SnO2 purdeb uchel fel y deunydd ffynhonnell ar gyfer anweddiad uniongyrchol. Er mwyn gwneud y ffilm gyda thryloywder uchel a gwrthedd isel, yn gyffredinol mae angen tymheredd swbstrad uwch neu'r angen i anelio'r ffilm wedi hynny. Defnyddiodd HR Fallah et al. y dull anweddu trawst electron ar dymheredd isel i ddyddodi ffilmiau tenau ITO, i astudio effaith y gyfradd dyddodiad, tymheredd anelio a pharamedrau proses eraill ar strwythur y ffilm, priodweddau trydanol ac optegol. Nodasant y gallai gostwng y gyfradd dyddodiad gynyddu'r tryloywder a lleihau gwrthedd y ffilmiau a dyfir mewn tymheredd isel. Mae trosglwyddiad golau gweladwy yn fwy na 92%, a'r gwrthedd yw 7X10-4Ωcm. Fe wnaethant anelio'r ffilmiau ITO a dyfwyd ar dymheredd ystafell ar 350 ~ 550 ℃, a chanfod po uchaf yw'r tymheredd anelio, y gorau yw priodwedd grisialog ffilmiau ITO. Mae trosglwyddiad golau gweladwy'r ffilmiau ar ôl anelio ar 550 ℃ yn 93%, a maint y grawn tua 37nm. Gall y dull â chymorth plasma hefyd leihau tymheredd y swbstrad yn ystod ffurfio ffilm, sef y ffactor pwysicaf wrth ffurfio'r ffilm, a'r crisialedd hefyd yw'r pwysicaf. Gall y dull â chymorth plasma hefyd leihau tymheredd y swbstrad yn ystod ffurfio ffilm, ac mae gan y ffilm ITO a geir o'r dyddodiad berfformiad da. gwrthedd y ffilm ITO a baratowyd gan S. Laux et al. yn isel iawn, 5 * 10-”Ωcm, ac mae amsugno golau ar 550nm yn llai na 5%, ac mae gwrthiant y ffilm a'r lled band optegol hefyd yn cael eu newid trwy newid y pwysau ocsigen yn ystod y dyddodiad.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Mawrth-23-2024