U prucessu di rivestimentu di ioni di catodu cavu hè u seguente:
1. Mette i lingotti di mentone in u collassu.
2. Muntaggio di a pezza.
3、Dopu avè evacuatu à 5 × 10-3Pa, u gasu argon hè introduttu in a camera di rivestimentu da u tubu d'argentu, è u livellu di vacuum hè intornu à 100Pa.
4. Accendete l'alimentazione di polarizazione.
5. Dopu avè acceso l'alimentazione di l'arcu per accende a scarica di u catodu cavu. A scarica incandescente hè generata in u tubu di buttone, a tensione di scarica hè 800 ~ 1000V, a corrente di sollevamentu di l'arcu hè 30 ~ 50A. A causa di l'effettu di u catodu cavu di a scarica incandescente, l'alta densità di corrente di scarica incandescente, l'alta densità di ioni di rattu in u tubu d'argentu bombarda u muru di u tubu vantage, face chì u muru di u tubu si riscaldi rapidamente per l'emissione di u flussu di elettroni, u modu di scarica da a scarica incandescente cambia bruscamente à scarica d'arcu, a tensione hè 40 ~ 70V, a corrente hè 80 ~ 300A. A temperatura di u tubu d'argentu righjunghje più di 2300K, incandescente, emette un flussu d'alta densità di elettroni d'arcu da u tubu, è sparatu à l'anodu.
6. Ajustamentu di u livellu di vacuum. U livellu di vacuum per a scarica à bagliore da a pistola à catodu cavu hè di circa 100 Pa, è u gradu di vacuum di u rivestimentu hè 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Dunque, dopu l'accensione di a scarica di l'arcu, riduce u gasu argon in entrata u più prestu pussibule, aghjustate u livellu di vacuum à un intervallu adattatu per u rivestimentu.
7. Stratu di basa placcatu in titaniu. Flussu di elettroni nantu à u lingotto di metallu Chin anodicamente collassatu, cunversione di l'energia cinetica in energia termica, evaporazione di u metallu Chin per riscaldamentu, l'atomi di vapore ghjunghjenu à a pezza per furmà una pellicola di titaniu.
8. Deposizione di TiN. U gasu d'azotu hè furnitu à a camera di rivestimentu. U gasu d'azotu è l'atomi evaporati sò ionizzati in ioni d'azotu è di titaniu. Sopra u crogiolu, maggiore probabilità di collisioni anelastiche di atomi di vapore di titaniu cù flussi densi di elettroni à bassa energia, a velocità di dissociazione di u metallu hè alta cum'è 20% ~ 40%., L'ioni di titaniu sò più propensi à reagisce chimicamente cù l'azotu di gasu di reazione, deposizione per ottene un stratu di film di mantellu di nitruro. U cannone à catodu cavu hè sia una fonte di vaporizazione, sia un'altra fonte di ionizazione. Durante u rivestimentu, a corrente di a bobina elettromagnetica intornu à u crogiolu deve ancu esse aghjustata, focalizà u fasciu di elettroni à u centru di u colapsu, cusì, a densità di putenza di u flussu di elettroni hè aumentata.
9、Spegnimentu. Dopu chì u spessore di u film hà righjuntu u spessore di u film predeterminatu, spegnete l'alimentazione di l'arcu, l'alimentazione di polarizazione è l'alimentazione d'aria.
Data di publicazione: 08 lugliu 2023