Proseso sa hollow cathode ion coating

Ang proseso sa hollow cathode ion coating mao ang mosunod:

1, Ibutang ang mga ingot sa Chin sa pagkahugno.

2, Pag-mount sa workpiece.

3, Human sa pagbakwit ngadto sa 5 × 10-3Pa, argon gas gipaila-ila ngadto sa sapaw lawak gikan sa silver tube, ug ang vacuum nga lebel sa palibot 100Pa.

4, I-on ang gahum sa bias.

5, Human i-on ang arc power aron masunog ang hollow cathode discharge.The glow discharge kay namugna sa button tube,Discharge voltage mao ang 800~1000V,Ang arc-raising nga kasamtangan mao ang 30~50A. sa vantage tube,Himoa nga ang tube wall paspas nga magpainit sa emission sa electron flow, ang discharge mode gikan sa glow discharge kalit nga pagbag-o ngadto sa arc discharge, Boltahe mao ang 40 ~ 70V, Current mao ang 80 ~ 300A.Silver tube temperatura moabot sa ibabaw sa 2300K, Incandescent sa hatag-as nga densidad gikan sa usa ka electron densidad.

6, Pag-adjust sa lebel sa vacuum.Ang lebel sa vacuum alang sa glow discharge gikan sa hollow cathode gun mao ang mahitungod sa 100 Pa, Ug ang vacuum degree sa coating mao ang 8 × 10-1 ~ 2Pa. Busa, Human sa ignition sa arc discharge, Bawasan ang umaabot nga argon nga lebel sa labing madali nga panahon, I-adjust ang vacuum coating sa labing dali nga panahon.

7,Titanium plated base layer.Electron flow ngadto sa anodically collapsed Chin metal ingot,Conversion sa kinetic energy ngadto sa thermal energy,Evaporation sa Chin metal pinaagi sa pagpainit,Ang mga atomo sa singaw makaabot sa workpiece aron maporma ang titanium film.

8, Deposition sa TiN.Nitrogen gas gihatag ngadto sa taklap, sapaw lawak, Nitrogen gas ug evaporated atomo mga ionized ngadto sa nitrogen ug titanium ions.Above sa crucible, Mas taas nga kalagmitan sa inelastic pagbangga sa titanium alisngaw atoms uban sa dasok nga sapa sa ubos-enerhiya electron, Ang metal dissociation 2% mao ang 0 ~ 40%. mas lagmit nga mo-react sa kemikal sa reaksyon nga gas nitrogen,Deposition aron makakuha og nitride mantle film layer.The hollow cathode gun mao ang usa ka vaporization source，Laing tinubdan sa ionization.Atol sa coating,Ang kasamtangan sa electromagnetic coil sa palibot sa crucible kinahanglan usab nga i-adjust, Focus ang electron beam ngadto sa sentro sa pagkahugno sa gahum,Thus ang densidad sa electron.

9, Pagpatay. Human ang gibag-on sa pelikula makaabot sa gitino nang daan nga gibag-on sa pelikula, I-off ang arc power supply, Bias nga suplay sa kuryente ug suplay sa hangin.