Procés de recobriment d'ions de càtode buit

El procés de recobriment d'ions de càtode buit és el següent:

1. Poseu lingots de barbeta al col·lapse.

2. Muntatge de la peça.

3. Després de buidar fins a 5 × 10-3 Pa, s'introdueix gas argó a la cambra de recobriment des del tub de plata i el nivell de buit és d'uns 100 Pa.

4. Activeu l'alimentació de biaix.

5. Després d'encendre l'arc per encendre la descàrrega del càtode buit, la descàrrega luminescent es genera al tub de botó. El voltatge de descàrrega és de 800 a 1000 V i el corrent d'elevació de l'arc és de 30 a 50 A. A causa de l'efecte del càtode buit de la descàrrega luminescent, l'alta densitat de corrent de descàrrega luminescent, l'alta densitat d'ions de rata al tub de plata bombardeja la paret del tub avantatjós, fa que la paret del tub s'escalfi ràpidament amb l'emissió del flux d'electrons. El mode de descàrrega de la descàrrega luminescent canvia sobtadament a descàrrega d'arc. El voltatge és de 40 a 70 V i el corrent és de 80 a 300 A. La temperatura del tub de plata supera els 2300 K. Incandescent, emet un flux d'alta densitat d'electrons d'arc des del tub i es dispara a l'ànode.

6. Ajust del nivell de buit. El nivell de buit per a la descàrrega luminescent de la pistola de càtode buit és d'uns 100 Pa i el grau de buit del recobriment és de 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Per tant, després de l'encesa de la descàrrega d'arc, reduïu el gas argó entrant tan aviat com sigui possible i ajusteu el nivell de buit a un rang adequat per al recobriment.

7. Capa base revestida de titani. Flux d'electrons sobre el lingot de metall Chin col·lapsat anòdicament, conversió d'energia cinètica en energia tèrmica, evaporació del metall Chin per escalfament, àtoms de vapor arriben a la peça per formar una pel·lícula de titani.

8. Deposició de TiN. Es subministra gas nitrogen a la cambra de recobriment. El gas nitrogen i els àtoms evaporats s'ionitzen en ions de nitrogen i titani. Per sobre del gresol, hi ha una major probabilitat de col·lisions inelàstiques d'àtoms de vapor de titani amb corrents densos d'electrons de baixa energia. La taxa de dissociació del metall és tan alta com del 20% ~ 40%. És més probable que els ions de titani reaccionin químicament amb el nitrogen del gas de reacció. Es deposa per obtenir una capa de pel·lícula de mantell de nitrur. El canó de càtode buit és una font de vaporització i una altra font d'ionització. Durant el recobriment, també s'ha d'ajustar el corrent de la bobina electromagnètica al voltant del gresol. Cal enfocar el feix d'electrons al centre del col·lapse, augmentant així la densitat de potència del flux d'electrons.

9. Apagar. Després que el gruix de la pel·lícula arribi al gruix predeterminat, apagar l'alimentació de l'arc, l'alimentació de polarització i l'alimentació d'aire.