Ionski premazmašina nastala je iz teorije koju je predložio D. M. Mattox 1960-ih, a odgovarajući eksperimenti su započeli u to vrijeme; Do 1971. godine, Chambers i drugi su objavljivali tehnologiju nanošenja jona elektronskim snopom; Tehnologija nanošenja reaktivnim isparavanjem (ARE) istaknuta je u Bunshahovom izvještaju 1972. godine, kada su proizvedene supertvrde vrste filmova poput TiC i TiN; Također 1972. godine, Smith i Molley su usvojili tehnologiju šuplje katode u procesu nanošenja premaza. Do 1980-ih, nanošenje jona u Kini je konačno dostiglo nivo industrijske primjene, a procesi nanošenja premaza poput vakuumskog višelučnog ionskog nanošenja i nanošenja jona lučnim pražnjenjem su se sukcesivno pojavljivali.
Cijeli proces vakuumskog jonskog nanošenja je sljedeći: prvo,pumpavakuumsku komoru, a zatimčekajvakuumski pritisak na 4X10⁻³ Paili bolje, potrebno je spojiti visokonaponsko napajanje i izgraditi područje plazme niske temperature s niskonaponskim plinom za pražnjenje između podloge i isparivača. Spojite elektrodu podloge s negativnim visokim naponom od 5000V DC kako biste formirali tinjajuće pražnjenje katode. Ioni inertnog plina generiraju se u blizini područja negativnog tinjanja. Oni ulaze u tamno područje katode i ubrzavaju se električnim poljem te bombardiraju površinu podloge. Ovo je proces čišćenja, a zatim ulaze u proces premazivanja. Efektom bombardiranja zagrijavanjem, neki materijali za prevlačenje isparavaju. Područje plazme ulazi u protone, sudara se s elektronima i ionima inertnog plina, a mali dio njih se ionizira. Ovi ionizirani ioni visoke energije bombardirat će površinu filma i donekle poboljšati kvalitetu filma.
Princip vakuumskog jonskog premazivanja je sljedeći: u vakuumskoj komori, korištenjem fenomena plinskog pražnjenja ili ioniziranog dijela isparenog materijala, pod bombardiranjem iona ili plinskih iona isparenog materijala, te isparene tvari ili njihovi reaktanti istovremeno se talože na podlogu kako bi se dobio tanki film. Ionski premazmašinaKombinuje vakuumsko isparavanje, plazma tehnologiju i plinsko pražnjenje pod tinjanjem, što ne samo da poboljšava kvalitet filma, već i proširuje njegov raspon primjene. Prednosti ovog procesa su jaka difrakcija, dobro prianjanje filma i različiti materijali za premazivanje. Princip jonskog prevlačenja prvi je predložio DM Mattox. Postoje mnoge vrste jonskog prevlačenja. Najčešći tip je isparavanje, uključujući otporno zagrijavanje, zagrijavanje elektronskim snopom, zagrijavanje plazma elektronskim snopom, visokofrekventno indukcijsko zagrijavanje i druge metode zagrijavanja.
Vrijeme objave: 14. februar 2023.