Proces jonskog premazivanja šuplje katode je sljedeći:
1. Stavite Chin ingote u kolaps.
2. Montiranje radnog komada.
3. Nakon evakuacije na 5×10⁻³Pa, argon se uvodi u komoru za premazivanje iz srebrne cijevi, a nivo vakuuma je oko 100 Pa.
4. Uključite prednapon.
5. Nakon uključivanja napajanja luka za paljenje pražnjenja šuplje katode. Tmurno pražnjenje se generira u dugmastoj cijevi. Napon pražnjenja je 800~1000V, struja stvaranja luka je 30~50A. Zbog efekta šuplje katode tmurnog pražnjenja, visoka gustoća struje tmurnog pražnjenja. Visoka gustoća atmosferskih iona u srebrnoj cijevi bombardira zid cijevi. Zbog toga se zid cijevi brzo zagrijava, što dovodi do emisije protoka elektrona. Način pražnjenja se naglo mijenja iz tmurnog pražnjenja u lučno pražnjenje. Napon je 40~70V, a struja je 80~300A. Temperatura srebrne cijevi dostiže iznad 2300K. Užareno svjetlo emituje tok elektrona luka visoke gustoće iz cijevi i udara prema anodi.
6. Podešavanje nivoa vakuuma. Nivo vakuuma za tinjajuće pražnjenje iz pištolja sa šupljom katodom je oko 100 Pa, a stepen vakuuma za premazivanje je 8×10⁻¹~2Pa. Stoga, nakon paljenja lučnog pražnjenja, što prije smanjite dovod argona i podesite nivo vakuuma na opseg pogodan za premazivanje.
7. Osnovni sloj presvučen titanom. Protok elektrona na anodno urušeni ingot Chin metala, pretvorba kinetičke energije u toplinsku energiju, isparavanje Chin metala zagrijavanjem, atomi pare dopiru do radnog komada i formiraju titanijski film.
8. Taloženje TiN-a. Gasoviti dušik se dovodi u komoru za premazivanje. Gasoviti dušik i ispareni atomi se joniziraju u ione dušika i titana. Iznad lončića postoji veća vjerovatnoća neelastičnih sudara atoma titanijumske pare sa gustim tokovima elektrona niske energije. Brzina disocijacije metala je visoka i do 20%~40%. Ioni titana imaju veću vjerovatnoću da hemijski reaguju sa reakcionim gasovitim dušikom. Taloženjem se dobija sloj nitridne obloge. Šuplja katodna puška je i izvor isparavanja i još jedan izvor jonizacije. Tokom premazivanja, struja elektromagnetne zavojnice oko lončića također treba da se podesi. Fokusirajte elektronski snop u centar kolapsa. Na taj način se povećava gustina snage elektronskog protoka.
9. Isključivanje. Nakon što debljina filma dostigne unaprijed određenu debljinu filma, isključite napajanje luka, napajanje prednapona i dovod zraka.
Vrijeme objave: 08.07.2023.