আয়ন আবরণযন্ত্র ১৯৬০-এর দশকে ডিএম ম্যাটক্সের প্রস্তাবিত তত্ত্ব থেকে উদ্ভূত হয়েছিল এবং সেই সময়ে সংশ্লিষ্ট পরীক্ষা-নিরীক্ষা শুরু হয়েছিল; ১৯৭১ সাল পর্যন্ত, চেম্বারস এবং অন্যান্যরা ইলেকট্রন বিম আয়ন প্লেটিং প্রযুক্তি প্রকাশ করেছিলেন; ১৯৭২ সালে বুনশাহ রিপোর্টে প্রতিক্রিয়াশীল বাষ্পীভবন প্লেটিং (ARE) প্রযুক্তির কথা উল্লেখ করা হয়েছিল, যখন টিআইসি এবং টিআইএন-এর মতো সুপার-হার্ড ফিল্ম ধরণের তৈরি করা হয়েছিল; এছাড়াও ১৯৭২ সালে, স্মিথ এবং মলি আবরণ প্রক্রিয়ায় ফাঁপা ক্যাথোড প্রযুক্তি গ্রহণ করেছিলেন। ১৯৮০-এর দশকের মধ্যে, চীনে আয়ন প্লেটিং অবশেষে শিল্প প্রয়োগের স্তরে পৌঁছেছিল এবং ভ্যাকুয়াম মাল্টি-আর্ক আয়ন প্লেটিং এবং আর্ক-ডিসচার্জ আয়ন প্লেটিং-এর মতো আবরণ প্রক্রিয়াগুলি ধারাবাহিকভাবে উপস্থিত হয়েছিল।
ভ্যাকুয়াম আয়ন প্লেটিংয়ের সম্পূর্ণ কার্যপ্রণালী নিম্নরূপ: প্রথমত,পাম্পভ্যাকুয়াম চেম্বার, এবং তারপরঅপেক্ষা করুনভ্যাকুয়াম চাপ 4X10 ⁻ ³ Paঅথবা আরও ভালো, উচ্চ ভোল্টেজ পাওয়ার সাপ্লাই সংযোগ করা এবং সাবস্ট্রেট এবং বাষ্পীভবনকারীর মধ্যে কম ভোল্টেজ স্রাব গ্যাসের একটি নিম্ন তাপমাত্রার প্লাজমা এলাকা তৈরি করা প্রয়োজন। ক্যাথোডের একটি গ্লো ডিসচার্জ তৈরি করতে সাবস্ট্রেট ইলেক্ট্রোডকে 5000V ডিসি নেগেটিভ উচ্চ ভোল্টেজের সাথে সংযুক্ত করুন। নেগেটিভ গ্লো এরিয়ার কাছে নিষ্ক্রিয় গ্যাস আয়ন তৈরি হয়। তারা ক্যাথোড অন্ধকার এলাকায় প্রবেশ করে এবং বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র দ্বারা ত্বরান্বিত হয় এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে বোমাবর্ষণ করে। এটি একটি পরিষ্কার প্রক্রিয়া, এবং তারপর আবরণ প্রক্রিয়ায় প্রবেশ করে। বোমাবর্ষণ গরম করার প্রভাবের মাধ্যমে, কিছু আবরণ উপকরণ বাষ্পীভূত হয়। প্লাজমা এলাকা প্রোটনে প্রবেশ করে, ইলেকট্রন এবং নিষ্ক্রিয় গ্যাস আয়নের সাথে সংঘর্ষ করে এবং তাদের একটি ছোট অংশ আয়নিত হয়। উচ্চ শক্তির এই আয়নিত আয়নগুলি ফিল্ম পৃষ্ঠে বোমাবর্ষণ করবে এবং কিছুটা হলেও ফিল্মের মান উন্নত করবে।
ভ্যাকুয়াম আয়ন প্রলেপের নীতি হল: ভ্যাকুয়াম চেম্বারে, গ্যাস নিঃসরণ ঘটনা বা বাষ্পীভূত পদার্থের আয়নিত অংশ ব্যবহার করে, বাষ্পীভূত পদার্থ আয়ন বা গ্যাস আয়নগুলির বোমাবর্ষণের অধীনে, একই সাথে এই বাষ্পীভূত পদার্থগুলি বা তাদের বিক্রিয়কগুলিকে সাবস্ট্রেটের উপর জমা করে একটি পাতলা আবরণ তৈরি করে। আয়ন আবরণযন্ত্রভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন, প্লাজমা প্রযুক্তি এবং গ্যাস গ্লো ডিসচার্জকে একত্রিত করে, যা কেবল ফিল্মের মান উন্নত করে না, বরং ফিল্মের প্রয়োগের পরিসরও প্রসারিত করে। এই প্রক্রিয়ার সুবিধা হল শক্তিশালী বিবর্তন, ভালো ফিল্ম আনুগত্য এবং বিভিন্ন আবরণ উপকরণ। আয়ন প্রলেপের নীতিটি প্রথম প্রস্তাব করেছিলেন ডিএম ম্যাটক্স। অনেক ধরণের আয়ন প্রলেপ রয়েছে। সবচেয়ে সাধারণ ধরণ হল বাষ্পীভবন উত্তাপ, যার মধ্যে রয়েছে প্রতিরোধ তাপীকরণ, ইলেকট্রন বিম উত্তাপ, প্লাজমা ইলেকট্রন বিম উত্তাপ, উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইন্ডাকশন উত্তাপ এবং অন্যান্য তাপীকরণ পদ্ধতি।
পোস্টের সময়: ফেব্রুয়ারী-১৪-২০২৩