ফাঁপা ক্যাথোড আয়ন আবরণের প্রক্রিয়াটি নিম্নরূপ:
১, ধসে চিনের ইঙ্গটগুলি রাখুন।
2, ওয়ার্কপিস মাউন্ট করা।
৩, ৫×১০-৩Pa-তে খালি করার পর, রূপালী নল থেকে আবরণ চেম্বারে আর্গন গ্যাস প্রবেশ করানো হয় এবং ভ্যাকুয়াম স্তর প্রায় ১০০Pa হয়।
৪, বায়াস পাওয়ার চালু করুন।
৫, ফাঁপা ক্যাথোড ডিসচার্জ জ্বালানোর জন্য আর্ক পাওয়ার চালু করার পর। বোতাম টিউবে গ্লো ডিসচার্জ উৎপন্ন হয়, ডিসচার্জ ভোল্টেজ ৮০০~১০০০V, আর্ক-রাইজিং কারেন্ট ৩০~৫০A। গ্লো ডিসচার্জের ফাঁপা ক্যাথোড প্রভাবের কারণে, উচ্চ গ্লো ডিসচার্জ কারেন্ট ঘনত্ব, সিলভার টিউবে ইঁদুর আয়নের উচ্চ ঘনত্ব ভ্যানটেজ টিউবের দেয়ালে বোমাবর্ষণ করে, ইলেকট্রন প্রবাহ নির্গমনের জন্য টিউবের দেয়ালকে দ্রুত উষ্ণ করে তোলে, গ্লো ডিসচার্জ থেকে ডিসচার্জ মোড হঠাৎ আর্ক ডিসচার্জে পরিবর্তিত হয়, ভোল্টেজ ৪০~৭০V, কারেন্ট ৮০~৩০০A। সিলভার টিউবের তাপমাত্রা ২৩০০K এর উপরে পৌঁছায়, ভাস্বর, টিউব থেকে আর্ক ইলেকট্রনের একটি উচ্চ ঘনত্বের প্রবাহ নির্গত করে এবং অ্যানোডে শট করে।
৬, ভ্যাকুয়াম স্তরের সমন্বয়। ফাঁপা ক্যাথোড বন্দুক থেকে গ্লো ডিসচার্জের জন্য ভ্যাকুয়াম স্তর প্রায় ১০০ Pa, এবং আবরণের ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি ৮×১০-১~২Pa। অতএব, আর্ক ডিসচার্জের ইগনিশনের পরে, যত তাড়াতাড়ি সম্ভব আগত আর্গন গ্যাস কমিয়ে দিন, ভ্যাকুয়াম স্তরকে আবরণের জন্য উপযুক্ত পরিসরে সামঞ্জস্য করুন।
৭, টাইটানিয়াম ধাতুপট্টাবৃত বেস স্তর। অ্যানোডিক্যালি ধসে পড়া চিন ধাতুর পিণ্ডের উপর ইলেকট্রন প্রবাহ, গতিশক্তির তাপশক্তিতে রূপান্তর, উত্তাপের মাধ্যমে চিন ধাতুর বাষ্পীভবন, বাষ্পের পরমাণুগুলি ওয়ার্কপিসে পৌঁছে একটি টাইটানিয়াম ফিল্ম তৈরি করে।
8, TiN এর জমা। নাইট্রোজেন গ্যাস আবরণ চেম্বারে সরবরাহ করা হয়, নাইট্রোজেন গ্যাস এবং বাষ্পীভূত পরমাণুগুলিকে নাইট্রোজেন এবং টাইটানিয়াম আয়নে আয়নিত করা হয়। ক্রুসিবলের উপরে, কম-শক্তি ইলেকট্রনের ঘন প্রবাহের সাথে টাইটানিয়াম বাষ্প পরমাণুর স্থিতিস্থাপক সংঘর্ষের সম্ভাবনা বেশি, ধাতু বিচ্ছিন্নতার হার 20% ~ 40% পর্যন্ত।, টাইটানিয়াম আয়নগুলি বিক্রিয়া গ্যাস নাইট্রোজেনের সাথে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করার সম্ভাবনা বেশি, একটি নাইট্রাইড ম্যান্টেল ফিল্ম স্তর প্রাপ্ত করার জন্য জমা। ফাঁপা ক্যাথোড বন্দুক উভয়ই একটি বাষ্পীকরণ উৎস, আয়নীকরণের আরেকটি উৎস। আবরণের সময়, ক্রুসিবলের চারপাশে ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েলের স্রোতও সামঞ্জস্য করা উচিত, ইলেকট্রন রশ্মিকে পতনের কেন্দ্রে ফোকাস করুন, এইভাবে, ইলেকট্রন প্রবাহের শক্তি ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়।
৯, পাওয়ার অফ। ফিল্মের পুরুত্ব পূর্বনির্ধারিত ফিল্মের পুরুত্বে পৌঁছানোর পর, আর্ক পাওয়ার সাপ্লাই, বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই এবং এয়ার সাপ্লাই বন্ধ করুন।
পোস্টের সময়: জুলাই-০৮-২০২৩