Процесът на йонно покритие с кухи катоди е следният:
1. Поставете кюлчетата Чин в колапса.
2. Монтиране на детайла.
3. След вакуумиране до 5×10⁻³Pa, аргонов газ се вкарва в камерата за покритие от сребърната тръба и нивото на вакуум е около 100Pa.
4. Включете захранването.
5. След включване на дъгата, разрядът с кухия катод се запалва. Тлеещият разряд се генерира в лампата с копче. Напрежението на разряда е 800~1000V, а токът на дъга е 30~50A. Поради ефекта на тлеещия разряд с кухия катод, плътността на тока на тлеещия разряд е висока. Високата плътност на йони в сребърната лампа бомбардира стената на лампата. Това кара стената на лампата бързо да се нагрее до излъчване на електрони. Режимът на разряд от тлеещ разряд внезапно се променя в дъгов разряд. Напрежението е 40~70V, а токът е 80~300A. Температурата на сребърната лампа достига над 2300K. Лампата е нажежена и излъчва поток от дъгови електрони с висока плътност от лампата и те се изстрелват към анода.
6. Регулиране на нивото на вакуум. Нивото на вакуум за тлеещ разряд от кух катоден пистолет е около 100 Pa, а степента на вакуум при нанасяне на покритие е 8×10⁻¹~2Pa. Следователно, след запалване на дъговия разряд, намалете постъпващия аргонов газ възможно най-скоро и регулирайте нивото на вакуум до диапазон, подходящ за нанасяне на покритие.
7. Основен слой с титаниево покритие. Електронен поток върху анодно свития метален слитък Chin, преобразуване на кинетичната енергия в топлинна енергия, изпаряване на метала Chin чрез нагряване, парни атоми достигат до детайла, за да образуват титанов филм.
8. Отлагане на TiN. Азотен газ се подава към камерата за нанасяне на покритие. Азотният газ и изпарените атоми се йонизират в азотни и титаниеви йони. Над тигела е по-вероятно да има нееластични сблъсъци на титаниеви пари с плътни потоци от нискоенергийни електрони. Скоростта на дисоциация на метала е висока, достигайки 20%~40%. Титаниевите йони е по-вероятно да реагират химически с реакционния газ азот. Отлагането води до образуване на слой от нитриден мантиен филм. Кухият катоден пистолет е едновременно източник на изпаряване и друг източник на йонизация. По време на нанасяне на покритието токът на електромагнитната намотка около тигела също трябва да се регулира. Електронният лъч трябва да се фокусира върху центъра на колапса. По този начин се увеличава плътността на мощността на електронния поток.
9. Изключване на захранването. След като дебелината на филма достигне предварително определената дебелина, изключете захранването на дъгата, захранването с отклонение и подаването на въздух.
Време на публикуване: 08 юли 2023 г.