Працэс нанясення іённага пакрыцця з полага катода выглядае наступным чынам:
1. Змясціце зліткі Чын у калодзеж.
2. Усталёўка апрацоўванай дэталі.
3. Пасля зніжэння ціску вакууму да 5×10⁻³ Па ў камеру для нанясення пакрыцця з сярэбранай трубкі падаецца аргон, і ўзровень вакууму складае каля 100 Па.
4. Уключыце сілкаванне зрушэння.
5. Пасля ўключэння дугі для запальвання разраду з полым катодам. У трубцы з жоўтым разрадам генеруецца тлеючы разрад. Напружанне разраду складае 800~1000 В, ток узнікнення дугі складае 30~50 А. З-за эфекту тлеючага разраду з полым катодам, высокая шчыльнасць току тлеючага разраду. Высокая шчыльнасць іонаў ратыі ў сярэбранай трубцы бамбардзіруе сценкі трубкі. Гэта прыводзіць да хуткага нагрэву сценкі трубкі, што прыводзіць да выпраменьвання патоку электронаў. Рэжым разраду раптам пераходзіць з тлеючага разраду ў дугавы разрад. Напружанне складае 40~70 В, ток складае 80~300 А. Тэмпература сярэбранай трубкі дасягае 2300 К. Лампа напальвання выпраменьвае з трубкі струмень дугі высокай шчыльнасці, якія імкнуцца да анода.
6. Рэгуляванне ўзроўню вакууму. Узровень вакууму для тлеючага разраду з полага катода складае каля 100 Па, а ступень вакууму для пакрыцця складае 8×10⁻¹~2 Па. Такім чынам, пасля запальвання дугавога разраду як мага хутчэй зменшце падачу аргону і адрэгулюйце ўзровень вакууму да дыяпазону, прыдатнага для пакрыцця.
7. Тытанавы базавы пласт. Паток электронаў на анодна згорнуты металічны злітак Чын, пераўтварэнне кінетычнай энергіі ў цеплавую, выпарэнне металу Чын пры награванні, атамы пары дасягаюць апрацоўванай дэталі, утвараючы тытанавую плёнку.
8. Адкладанне TiN. Газападобны азот падаецца ў камеру для пакрыцця. Газападобны азот і выпарыўшыяся атамы іянізуюцца ў іоны азоту і тытана. Над тыглям вышэйшая верагоднасць няпругкіх сутыкненняў атамаў пароў тытана з шчыльнымі патокамі нізкаэнергетычных электронаў. Хуткасць дысацыяцыі металу дасягае 20%~40%. Іоны тытана часцей рэагуюць хімічна з рэакцыйным газападобным азотам. Адкладанне дазваляе атрымаць пласт нітрыднай мантыйнай плёнкі. Полая катодная гармата з'яўляецца крыніцай выпарэння і яшчэ адной крыніцай іянізацыі. Падчас нанясення пакрыцця неабходна рэгуляваць ток электрамагнітнай шпулькі вакол тыгля. Сфакусуйце электронны прамень у цэнтры калапсу. Такім чынам, павялічваецца шчыльнасць магутнасці электроннага патоку.
9. Выключэнне харчавання. Пасля таго, як таўшчыня плёнкі дасягне зададзенай таўшчыні, адключыце сілкаванне дугі, сілкаванне зрушэння і падачу паветра.
Час публікацыі: 08 ліпеня 2023 г.