İçi boş katod ionlarının örtülməsi prosesi

İçi boş katod ionlarının örtülməsi prosesi aşağıdakı kimidir:

1、Çənə külçələrini çökməyə qoyun.

2, İş parçasının quraşdırılması.

3、5×10-3Pa-a qədər evakuasiya edildikdən sonra arqon qazı gümüş borudan örtük kamerasına daxil olur və vakuum səviyyəsi 100Pa civarındadır.

4、Tərəqqi gücünü yandırın.

5、Qövs gücünü işə saldıqdan sonra içi boş katod boşalmasını alovlandırır. Parıltı boşalması düymə borusunda əmələ gəlir, Boşaltma gərginliyi 800~1000V, Qövs qaldırıcı cərəyan 30~50A-dir. Parıltı boşalmasının içi boş katod effektinə görə, Yüksək parıltı axıdılması, gümüş borunun divarını bombalayır, borunun divarını elektron axınının emissiyasına qədər sürətlə qızdırın, parıltı boşalmasından axıdılması rejimi qövs boşalmasına qəfil dəyişir, gərginlik 40 ~ 70V, cərəyan 80 ~ 300A-dir. anoda vuruldu.

6、Vakuum səviyyəsinin tənzimlənməsi. İçi boş katod tabancasından parıltı boşalması üçün vakuum səviyyəsi təqribən 100 Pa-dır, örtünün vakuum dərəcəsi isə 8×10-1~2Pa-dır. Buna görə də, qövs boşalmasının alovlanmasından sonra, daxil olan arqon qazını mümkün qədər tez bir zamanda azaldın.

7、Titan örtüklü əsas təbəqə. Anodik şəkildə çökmüş Çənə metal külçəsinə elektron axını, Kinetik enerjinin istilik enerjisinə çevrilməsi, Çənə metalının qızdırılaraq buxarlanması, Buxar atomları titan filmi yaratmaq üçün iş parçasına çatır.

8、TiN-in çökməsi.Azot qazı örtük kamerasına verilir,Azot qazı və buxarlanmış atomlar azot və titan ionlarına ionlaşdırılır.Titandan yuxarıda,Titan buxar atomlarının sıx elektrik axınları ilə qeyri-elastik toqquşma ehtimalı daha yüksəkdir, çünki metal aşağı energetik dislokasiyadır. 20% ~ 40%.,Titan ionlarının reaksiya qazı azotu ilə kimyəvi reaksiyaya girmə ehtimalı daha yüksəkdir,Nitrid mantiya təbəqəsi əldə etmək üçün çökmə. İçi boş katod silahı həm buxarlanma mənbəyidir，İonlaşmanın başqa bir mənbəyidir.Örtmə zamanı,Titan ətrafında elektromaqnit bobinin cərəyanı da elektromaqnitin mərkəzinə uyğunlaşdırılmalıdır. çökmə,Beləliklə, elektron axınının güc sıxlığı artır.

9、Power Off. Film qalınlığı əvvəlcədən müəyyən edilmiş film qalınlığına çatdıqdan sonra qövs enerji təchizatını söndürün、Qeyri-bərabər enerji təchizatı və hava təchizatı.