ኢንዲየም ቲን ኦክሳይድ (ITO ተብሎ የሚጠራው ኢንዲየም ቲን ኦክሳይድ) ሰፊ የባንድ ክፍተት ነው, በከፍተኛ ሁኔታ doped n-አይነት ሴሚኮንዳክተር ቁሶች, ከፍተኛ የሚታይ ብርሃን ማስተላለፍ እና ዝቅተኛ resistivity ባህርያት ጋር, እና ስለዚህ በሰፊው የፀሐይ ሕዋሳት ውስጥ ጥቅም ላይ, ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች, electrochromic መስኮቶች, ኦርጋኒክ እና ኦርጋኒክ ቀጭን-ፊልም electroluminescence, ሌዘር ዳይሬክተሮች እና ሌሎች መሳሪያዎች, የሌዘር ዳይሬክተሮች እና ሌሎች መሳሪያዎች አሉ. የ ITO ፊልሞችን የማዘጋጀት, የተጨማደደ ሌዘር ማስቀመጫ, መትፋት, የኬሚካል ትነት ማጠራቀሚያ, የሚረጭ የሙቀት መበስበስ, ሶል-ጄል, ትነት, ወዘተ የመሳሰሉትን ጨምሮ.
የ ITO ፊልም ለማዘጋጀት ብዙ መንገዶች አሉ, እነሱም pulsed laser deposition, sputtering, የኬሚካል ትነት ክምችት, ስፕሬይ ፒሮሊሲስ, ሶል-ጄል, ትነት እና የመሳሰሉትን ያካትታል, ከእነዚህም ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ነው. የ ITO ፊልሞች ትነት ዝግጅት አብዛኛውን ጊዜ ሁለት መንገዶች አሉት-አንደኛው ከፍተኛ-ንፅህና In, Sn alloy እንደ ምንጭ ቁሳቁስ, በኦክሲጅን ከባቢ አየር ውስጥ ምላሽ መስጠት; ሁለተኛው ከፍተኛ-ንፅህና In2O3:, SnO2 ድብልቅን ለቀጥታ ትነት እንደ ምንጭ ቁሳቁስ መጠቀም ነው. ፊልሙን በከፍተኛ ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ የመቋቋም ችሎታ ለመሥራት በአጠቃላይ ከፍ ያለ የሙቀት መጠን ወይም የፊልም ተከታይ የመጥፋት አስፈላጊነት ያስፈልገዋል. HR Fallah እና ሌሎች. የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ዘዴን በዝቅተኛ የሙቀት መጠን ተጠቅሟል ITO ቀጭን ፊልሞችን ለማስቀመጥ ፣ የተከማቸ መጠን ፣ የሙቀት መጠንን እና ሌሎች የሂደቱን መለኪያዎች በፊልሙ አወቃቀር ፣ በኤሌክትሪክ እና በጨረር ባህሪዎች ላይ ያለውን ተፅእኖ ለማጥናት ። የተከማቸበትን ፍጥነት ዝቅ ማድረግ ስርጭቱን እንዲጨምር እና በዝቅተኛ የሙቀት መጠን የሚበቅሉ ፊልሞችን የመቋቋም አቅም እንደሚቀንስ ጠቁመዋል። የሚታየው ብርሃን ማስተላለፍ ከ 92% በላይ ነው, እና የመቋቋም አቅም 7X10-4Ωcm ነው. በክፍል ሙቀት በ 350 ~ 550 ℃ የሚበቅሉትን የ ITO ፊልሞችን ሰረዙት ፣ እና የማደንዘዣው የሙቀት መጠን ከፍ ባለ መጠን የ ITO ፊልሞች ክሪስታላይን ንብረት የተሻለ እንደሚሆን ተገንዝበዋል። በ 550 ℃ ላይ ከቆሸሸ በኋላ የሚታየው የብርሃን ስርጭት 93% ነው ፣ እና የእህል መጠኑ 37 nm ያህል ነው። በፕላዝማ የታገዘ ዘዴ ፊልም በሚፈጠርበት ጊዜ የሙቀት መጠኑን ሊቀንስ ይችላል ፣ ይህም ለፊልሙ ምስረታ በጣም አስፈላጊው ነገር ነው ፣ እና ክሪስታሊኒቲም በጣም አስፈላጊ ነው። በፕላዝማ የታገዘ ዘዴ ፊልም በሚፈጠርበት ጊዜ የሙቀት መጠኑን ሊቀንስ ይችላል, እና ከተቀማጭ የተገኘ ITO ፊልም ጥሩ አፈፃፀም አለው. በኤስ ላውክስ እና ሌሎች የተዘጋጀው የ ITO ፊልም መቋቋም. በጣም ዝቅተኛ ነው, 5 * 10-"Ωcm, እና በ 550nm ላይ ያለው ብርሃን መሳብ ከ 5% ያነሰ ነው, እና የፊልም እና የኦፕቲካል ባንድዊድዝ የመቋቋም አቅም በተቀማጭ ጊዜ የኦክስጂን ግፊትን በመቀየር ይለወጣል.
- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ
የልጥፍ ጊዜ: ማርች-23-2024