Die proses van hol katode-ioonbedekking is soos volg:
1. Plaas Chin-stawe in die ineenstorting.
2. Montering van die werkstuk.
3. Nadat dit tot 5 × 10-3 Pa geëvakueer is, word argongas vanuit die silwerbuis in die bedekkingskamer ingebring, en die vakuumvlak is ongeveer 100 Pa.
4. Skakel die voorspanningskrag aan.
5. Nadat die boogkrag aangeskakel is, ontsteek die hol katode-ontlading. Die gloei-ontlading word in die knoppiebuis gegenereer. Die ontladingspanning is 800~1000V, en die boogverhogende stroom is 30~50A. As gevolg van die hol katode-effek van die gloei-ontlading, is daar 'n hoë gloei-ontladingsstroomdigtheid. Die hoë digtheid van rat-ione in die silwerbuis bombardeer die wand van die vooruitsigbuis. Die buiswand word vinnig warm vir die uitstraling van elektronvloei. Die ontladingsmodus van die gloei-ontlading verander skielik na boogontlading. Die spanning is 40~70V, die stroom is 80~300A. Die temperatuur van die silwerbuis bereik bo 2300K. Gloeiend. Dit straal 'n hoëdigtheidstroom boogelektrone uit die buis uit en skiet na die anode.
6. Aanpassing van vakuumvlak. Die vakuumvlak vir gloei-ontlading van die hol katodegeweer is ongeveer 100 Pa, en die vakuumgraad van die bedekking is 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Daarom, na die ontsteking van die boogontlading, verminder die inkomende argongas so gou as moontlik, pas die vakuumvlak aan tot 'n reeks wat geskik is vir bedekking.
7、Titaan-geplate basislaag. Elektronvloei op die anodies ineengestorte Chin-metaalstaaf, Omskakeling van kinetiese energie na termiese energie, Verdamping van Chin-metaal deur verhitting, Dampatome bereik die werkstuk om 'n titaniumfilm te vorm.
8. Afsetting van TiN. Stikstofgas word na die bedekkingskamer voorsien. Stikstofgas en verdampte atome word geïoniseer in stikstof- en titaanione. Bo die kroes is daar 'n hoër waarskynlikheid van onelastiese botsings van titaandampatome met digte strome van lae-energie-elektrone. Die metaaldissosiasietempo is so hoog as 20% ~ 40%. Titaniumione reageer meer chemies met die reaksiegasstikstof. Afsetting word verkry om 'n nitriedmantelfilmlaag te verkry. Die hol katodegeweer is beide 'n verdampingsbron en 'n ander bron van ionisasie. Tydens bedekking moet die stroom van die elektromagnetiese spoel rondom die kroes ook aangepas word. Fokus die elektronstraal na die middelpunt van die ineenstorting. Dus word die kragdigtheid van die elektronvloei verhoog.
9. Skakel die kragtoevoer af. Nadat die filmdikte die voorafbepaalde filmdikte bereik het, skakel die boogkragtoevoer, die voorspanningskragtoevoer en die lugtoevoer af.
Plasingstyd: 8 Julie 2023