Indiumtinoksied (Indiumtinoksied, verwys na as ITO) is 'n wye bandgaping, swaar gedoteerde n-tipe halfgeleiermateriaal, met hoë sigbare ligtransmissie en lae weerstandseienskappe, en word dus wyd gebruik in sonselle, platskermskerms, elektrochromiese vensters, anorganiese en organiese dunfilm-elektroluminessensie, laserdiodes en ultravioletdetektors en ander fotovoltaïese toestelle, ens. Daar is baie metodes vir die voorbereiding van ITO-films, insluitend gepulseerde laserafsetting, verstuiwing, chemiese dampafsetting, spuittermiese ontbinding, sol-gel, verdamping, ens. Onder die verdampingsmetodes is die mees algemeen gebruikte elektronstraalverdamping.
Daar is baie maniere om ITO-film voor te berei, insluitend gepulseerde laserafsetting, verstuiwing, chemiese dampafsetting, spuitpirolise, sol-gel, verdamping en so aan, waarvan die mees gebruikte verdampingsmetode elektronstraalverdamping is. Verdampingsvoorbereiding van ITO-films het gewoonlik twee maniere: een is die gebruik van 'n hoë-suiwer In, Sn-legering as die bronmateriaal, in die suurstofatmosfeer vir die reaksieverdamping; die tweede is die gebruik van 'n hoë-suiwer In2O3:, SnO2-mengsel as die bronmateriaal vir direkte verdamping. Om die film met hoë transmissie en lae weerstand te maak, word gewoonlik 'n hoër substraattemperatuur of die behoefte aan daaropvolgende uitgloeiing van die film vereis. HR Fallah et al. het die elektronstraalverdampingsmetode by lae temperature gebruik om ITO-dun films af te sit, om die effek van die afsettingstempo, uitgloeiingstemperatuur en ander prosesparameters op die struktuur van die film, elektriese en optiese eienskappe te bestudeer. Hulle het daarop gewys dat die verlaging van die afsettingstempo die transmissie kan verhoog en die weerstand van die lae-temperatuur-gekweekte films kan verlaag. Die deurlaatbaarheid van sigbare lig is meer as 92%, en die weerstand is 7X10-4Ωcm. Hulle het die ITO-films wat by kamertemperatuur gekweek is, uitgegloei en gevind dat hoe hoër die uitgloeiingstemperatuur is, hoe beter is die kristallyne eienskap van ITO-films. Die sigbare ligdeurlaatbaarheid van die films na uitgloeiing by 550 ℃ is 93%, en die korrelgrootte is ongeveer 37 nm. Die plasma-ondersteunde metode kan ook die substraattemperatuur tydens filmvorming verminder, wat die belangrikste faktor in die vorming van die film is, en die kristalliniteit is ook die belangrikste. Die plasma-ondersteunde metode kan ook die substraattemperatuur tydens filmvorming verminder, en die ITO-film wat verkry word uit die afsetting het goeie werkverrigting. Die weerstand van die ITO-film wat deur S. Laux et al. voorberei is. is baie laag, 5*10-”Ωcm, en die absorpsie van lig teen 550nm is minder as 5%, en die weerstand van die film en die optiese bandwydte word ook verander deur die suurstofdruk tydens die afsetting te verander.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 23 Maart 2024