Процес нанесення іонного покриття на порожнистий катод виглядає наступним чином:
1、Помістіть злитки Chin у колапс.
2、Встановлення заготовки.
3、Після вакуумування до 5 × 10-3 Па газоподібний аргон вводиться в камеру для покриття зі срібної трубки, а рівень вакууму становить приблизно 100 Па.
4、Увімкніть живлення зміщення.
5、Після ввімкнення живлення дуги для запалювання порожнистого катодного розряду. Тліючий розряд генерується в кнопковій трубці, розрядна напруга становить 800~1000 В, струм підняття дуги становить 30~50 А. Завдяки ефекту світіння порожнистого катода розряд,висока щільність струму тліючого розряду,висока щільність іонів щурів у срібній трубці бомбардує стінку трубки з перевагою,швидко нагріває стінку трубки до випромінювання потоку електронів, режим розряду з тліючого розряду раптово змінюється на дуговий розряд, напруга 40~70 В, струм 80~300 А. Температура срібної трубки сягає вище 2300 К, лампа розжарювання, випромінює потік електронів дуги високої щільності з трубки та спрямовується до анода.
6、Регулювання рівня вакууму. Рівень вакууму для тліючого розряду з пістолета з порожнистим катодом становить приблизно 100 Па, а ступінь вакууму покриття становить 8×10-1~2Па. Тому після запалювання дугового розряду зменшіть вхідний аргон. газ якомога швидше, відрегулюйте рівень вакууму до діапазону, придатного для покриття.
7、Титановий базовий шар. Потік електронів на анодно згорнутий металевий злиток Chin, перетворення кінетичної енергії в теплову енергію, випаровування металу Chin шляхом нагрівання, атоми пари досягають заготовки, утворюючи титанову плівку.
8、Осадження TiN. Газоподібний азот подається в камеру для покриття, газоподібний азот і випарені атоми іонізуються в іони азоту та титану. Над тиглем підвищується ймовірність непружних зіткнень атомів пари титану з щільними потоками електронів низької енергії, Швидкість дисоціації металу досягає 20% ~ 40%. Іони титану, швидше за все, вступають у хімічну реакцію з реакційним газом азотом. Осадження для отримання шару нітридної мантії. Пістолет з порожнистим катодом одночасно є джерелом випаровування. Ще одне джерело. іонізації. Під час нанесення покриття слід також регулювати струм електромагнітної котушки навколо тигля. Сфокусувати електронний промінь у центр колапсу. Таким чином, щільність потужності потоку електронів збільшується.
9、Вимкніть живлення. Після того, як товщина плівки досягне заданої товщини, вимкніть джерело живлення дуги、Електроживлення зміщення та подачу повітря.
Час публікації: 08 липня 2023 р