Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn imọ-ẹrọ miiran ti a bo, ti a bo sputtering magnetron jẹ ẹya nipasẹ awọn ẹya wọnyi: awọn aye iṣẹ ni iwọn tolesese ti o ni agbara pupọ ti iyara fifisilẹ ibora ati sisanra (ipinle agbegbe ti a bo) le ni iṣakoso ni rọọrun, ati pe ko si aropin apẹrẹ lori geometry ti ibi-afẹde magnetron lati rii daju isokan ti ibora; ko si iṣoro ti awọn patikulu droplet ninu Layer fiimu; fere gbogbo awọn irin, awọn ohun elo, ati awọn ohun elo amọ ni a le ṣe si awọn ohun elo afojusun; ati ohun elo ibi-afẹde le jẹ iṣelọpọ nipasẹ DC tabi RF magnetron sputtering, eyiti o le ṣe agbejade irin mimọ tabi awọn ibora alloy pẹlu ipin kongẹ, ati awọn fiimu ifaseyin irin pẹlu ikopa gaasi. Nipasẹ DC tabi RF sputtering, o ṣee ṣe lati ṣe agbejade irin mimọ tabi awọn ohun elo alloy pẹlu awọn iwọn deede ati igbagbogbo, ati awọn fiimu ifaseyin irin pẹlu ikopa gaasi, lati pade awọn ibeere ti oniruuru fiimu tinrin ati konge giga. Aṣoju ilana paramita fun magnetron sputtering bo ni: ṣiṣẹ titẹ ti 0.1Pa; foliteji afojusun ti 300 ~ 700V; iwuwo agbara ibi-afẹde ti 1 ~ 36W/cm².
Awọn ẹya kan pato ti sputtering magnetron jẹ:
(1) Iwọn fifisilẹ giga. Nitori lilo awọn amọna magnetron, lọwọlọwọ bombardment ion ti o tobi pupọ ni a le gba, nitorinaa oṣuwọn etching sputter lori dada ibi-afẹde ati iwọn ifisilẹ fiimu lori dada sobusitireti jẹ mejeeji ga pupọ.
(2) Agbara agbara giga. Iṣeeṣe ijamba ti awọn elekitironi agbara kekere ati awọn ọta gaasi ti ga, nitorinaa oṣuwọn iyapa gaasi ti pọ si pupọ. Nitorinaa, ikọlu ti gaasi idasilẹ (tabi pilasima) dinku pupọ. Nitorina, DC magnetron sputtering akawe pẹlu DC dipole sputtering, paapa ti o ba ti ṣiṣẹ titẹ ti wa ni dinku lati 1 ~ 10Pa to 10-210-1Pa sputtering foliteji ti wa ni tun dinku lati egbegberun folti si ogogorun ti volts, sputtering ṣiṣe ati awọn ohun idogo oṣuwọn ti wa ni pọ nipa awọn aṣẹ ti titobi.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-01-2023