① גוטע קאָנטראָלירבאַרקייט און ריפּיטאַביליטי פון פילם גרעב
צי די פילם גרעב קען קאנטראלירט ווערן ביי א באשטימטן ווערט ווערט גערופן פילם גרעב קאנטראלירבארקייט. די פארלאנגטע פילם גרעב קען איבערגעחזרט ווערן אסאך מאל, וואס ווערט גערופן פילם גרעב איבערחזרבאַרקייט. ווייל דער אויסלאדונגס-שטראם און ציל-שטראם פון וואקיום שפּאַטערינג קאָוטינג קענען קאנטראלירט ווערן סעפּעראַט. דעריבער, די גרעב פון שפּאַטערינג פילם איז קאנטראלירבאר, און דער פילם מיט באשטימטער גרעב קען דעפּאָנירט ווערן פאַרלעסלעך. אין דערצו, די שפּאַטער קאָוטינג קען באַקומען אַ פילם מיט גלייכמעסיגע גרעב אויף אַ גרויסער ייבערפלאַך.
② שטאַרקע אַדכיזשאַן צווישן פילם און סאַבסטראַט
די ענערגיע פון געשפּריצטע אַטאָמען איז 1-2 אָרדערס פון מאַגניטוד העכער ווי די פון פארדאַמפּטע אַטאָמען. די ענערגיע קאָנווערסיע פון די הויך-ענערגיע געשפּריצטע אַטאָמען וואָס זענען דעפּאַזירט אויף דעם סאַבסטראַט איז פיל העכער ווי די פון די פארדאַמפּטע אַטאָמען, וואָס דזשענערירט העכער היץ און פֿאַרבעסערט די אַדכיזשאַן צווישן די געשפּריצטע אַטאָמען און דעם סאַבסטראַט. אין דערצו, עטלעכע הויך-ענערגיע געשפּריצטע אַטאָמען פּראָדוצירן פאַרשידענע גראַדן פון ינדזשעקשאַן, פאָרמינג אַ פּסעוודאָדיפוסיאָן שיכט אויף דעם סאַבסטראַט. אין דערצו, דער סאַבסטראַט איז שטענדיק ריין און אַקטיווייטיד אין דער פּלאַזמע געגנט בעשאַס דעם פילם פאָרמינג פּראָצעס, וואָס רימוווז די געשפּריצטע אַטאָמען מיט שוואַך אַדכיזשאַן, און רייניקט און אַקטיווייץ די סאַבסטראַט ייבערפלאַך. דעריבער, דער געשפּריצטער פילם האט אַ שטאַרק אַדכיזשאַן צו דעם סאַבסטראַט.
③ מען קען צוגרייטן א נייעם מאַטעריאַל־פֿילם אַנדערש פֿון ציל
אויב מען לייגט אריין רעאַקטיוון גאַז בעתן שפּאַטערן כדי עס זאָל רעאַגירן מיטן ציל, קען מען באַקומען אַ נייעם מאַטעריאַל־פֿילם וואָס איז גאָר אַנדערש פֿונעם ציל. למשל, מען ניצט סיליקאָן ווי דער שפּאַטער־ציל, און מען לייגט אַרײַן זויערשטאָף און אַרגאָן צוזאַמען אין דער וואַקוום־קאַמער. נאָך דעם שפּאַטערן קען מען באַקומען אַ SiOz־איזאָלירנדיקן פֿילם. ניצנדיק טיטאַניום ווי דער שפּאַטער־ציל, ווערן אַרײַנגעלייגט שטיקשטאָף און אַרגאָן צוזאַמען אין דער וואַקוום־קאַמער, און מען קען באַקומען אַ פֿאַזע TiN גאָלד־ווי פֿילם נאָך דעם שפּאַטערן.
④ הויך ריינקייט און גוטע קוואַליטעט פון פילם
זינט עס איז נישטאָ קיין קרוציבל קאָמפּאָנענט אין דעם שפּאַטערינג פילם צוגרייטונג מיטל, וועלן די קאָמפּאָנענטן פון דעם קרוציבל כיטער מאַטעריאַל נישט ווערן געמישט אין דער שפּאַטערינג פילם שיכט. די חסרונות פון שפּאַטערינג קאָוטינג זענען אַז די פילם פאָרמינג גיכקייט איז שטייטער ווי די פון פארדאַמפּונג קאָוטינג, די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור איז העכער, עס איז גרינג צו ווערן אַפעקטירט דורך אומריינקייט גאַז, און די מיטל סטרוקטור איז מער קאָמפּליצירט.
דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ, אַ פאַבריקאַנט פוןוואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט
פּאָסט צייט: 9טן מערץ 2023