קאַמפּערד מיט אַנדערע קאָוטינג טעקנאַלאַדזשיז, מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג איז קעראַקטערייזד דורך די פאלגענדע פֿעיִקייטן: די אַרבעט פּאַראַמעטערס האָבן אַ גרויס דינאַמיש אַדזשאַסטמאַנט קייט פון קאָוטינג דעפּאַזישאַן גיכקייַט און גרעב (די צושטאַנד פון די קאָוטאַד געגנט) קענען זיין לייכט קאַנטראָולד, און עס איז קיין פּלאַן לימיטיישאַן אויף די דזשיאַמאַטרי פון די מאַגנעטראָן ציל צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי פון די קאָוטינג; עס איז קיין פּראָבלעם פון טראָפּלעט פּאַרטיקאַלז אין די פילם שיכטע; כּמעט אַלע מעטאַלן, אַלויז און קעראַמיקס קענען זיין געמאכט אין ציל מאַטעריאַלס; און די ציל מאַטעריאַל קענען זיין געשאפן דורך DC אָדער RF מאַגנעטראָן ספּאַטערינג, וואָס קענען דזשענערייט ריין מעטאַל אָדער אַלוי קאָוטינגז מיט פּינטלעך פאַרהעלטעניש, ווי געזונט ווי מעטאַל רעאַקטיוו פילמס מיט גאַז אָנטייל. דורך DC אָדער RF ספּאַטערינג, עס איז מעגלעך צו דזשענערייט ריין מעטאַל אָדער אַלוי קאָוטינגז מיט פּינטלעך און קאָנסטאַנט פאַרהעלטענישן, ווי געזונט ווי מעטאַל רעאַקטיוו פילמס מיט גאַז אָנטייל, צו טרעפן די באדערפענישן פון דין פילם דייווערסיטי און הויך פּינטלעכקייט. טיפּיש פּראָצעס פּאַראַמעטערס פֿאַר מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג זענען: אַרבעט דרוק פון 0.1Pa; ציל וואָולטידזש פון 300~700V; ציל מאַכט געדיכטקייַט פון 1~36W/cm².
די ספּעציפֿישע פֿעיִקייטן פֿון מאַגנעטראָן ספּאַטערינג זענען:
(1) הויכע דעפּאָזיציע ראַטע. צוליב דעם באַנוץ פון מאַגנעטראָן עלעקטראָדן, קען מען באַקומען אַ זייער גרויסן ציל באָמבאַרדירונג יאָן קראַנט, אַזוי די שפּאַטער עטשינג ראַטע אויף דער ציל ייבערפלאַך און די פילם דעפּאָזיציע ראַטע אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך זענען ביידע זייער הויך.
(2) הויכע מאַכט עפעקטיווקייט. די קאָליזיע וואַרשיינלעכקייט פון נידעריק-ענערגיע עלעקטראָנען און גאַז אַטאָמען איז הויך, אַזוי די גאַז דיסאָסיאַציע קורס איז שטארק געוואקסן. דעריבער, די ימפּידאַנס פון די דיסטשאַרדזש גאַז (אָדער פּלאַזמע) איז שטארק רידוסט. דעריבער, DC מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאַמפּערד מיט DC דיפּאָל ספּאַטערינג, אפילו אויב דער אַרבעט דרוק איז רידוסט פון 1~10Pa צו 10-210-1Pa ספּאַטערינג וואָולטידזש איז אויך רידוסט פון טויזנטער פון וואלטס צו הונדערטער פון וואלטס, ספּאַטערינג עפעקטיווקייט און דעפּאָזיציע קורס איז געוואקסן דורך אָרדערס פון מאַגניטוד.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: דעצעמבער-01-2023