① Khả năng kiểm soát và lặp lại độ dày màng tốt
Độ dày màng có thể được kiểm soát ở một giá trị được xác định trước hay không được gọi là khả năng kiểm soát độ dày màng. Độ dày màng cần thiết có thể được lặp lại nhiều lần, được gọi là khả năng lặp lại độ dày màng. Bởi vì dòng điện xả và dòng điện mục tiêu của lớp phủ phun chân không có thể được kiểm soát riêng biệt. Do đó, độ dày của màng phun có thể được kiểm soát và màng có độ dày được xác định trước có thể được lắng đọng một cách đáng tin cậy. Ngoài ra, lớp phủ phun có thể thu được một lớp màng có độ dày đồng đều trên một bề mặt lớn.
② Độ bám dính mạnh giữa màng và chất nền
Năng lượng của các nguyên tử phun cao hơn 1-2 bậc độ lớn so với các nguyên tử bốc hơi. Sự chuyển đổi năng lượng của các nguyên tử phun năng lượng cao lắng đọng trên chất nền cao hơn nhiều so với các nguyên tử bốc hơi, tạo ra nhiệt cao hơn và tăng cường độ bám dính giữa các nguyên tử phun và chất nền. Ngoài ra, một số nguyên tử phun năng lượng cao tạo ra các mức độ phun khác nhau, tạo thành lớp khuếch tán giả trên chất nền. Ngoài ra, chất nền luôn được làm sạch và hoạt hóa trong vùng plasma trong quá trình tạo màng, loại bỏ các nguyên tử phun có độ bám dính yếu và làm sạch và hoạt hóa bề mặt chất nền. Do đó, màng phun có độ bám dính mạnh với chất nền.
③ Có thể chuẩn bị màng vật liệu mới khác với mục tiêu
Nếu khí phản ứng được đưa vào trong quá trình phun để phản ứng với mục tiêu, có thể thu được một màng vật liệu mới hoàn toàn khác với mục tiêu. Ví dụ, sử dụng silicon làm mục tiêu phun, oxy và argon cùng nhau đưa vào buồng chân không. Sau khi phun, có thể thu được màng cách điện SiOz. Sử dụng titan làm mục tiêu phun, nitơ và argon cùng nhau đưa vào buồng chân không, và có thể thu được màng giống vàng TiN sau khi phun.
④ Độ tinh khiết cao và chất lượng màng tốt
Vì không có thành phần nồi nấu trong thiết bị chuẩn bị màng phun, các thành phần của vật liệu gia nhiệt nồi nấu sẽ không bị trộn lẫn trong lớp màng phun. Nhược điểm của lớp phủ phun là tốc độ tạo màng chậm hơn lớp phủ bay hơi, nhiệt độ nền cao hơn, dễ bị ảnh hưởng bởi khí tạp chất và cấu trúc thiết bị phức tạp hơn.
Bài viết này được xuất bản bởi Guangdong Zhenhua, một nhà sản xuấtthiết bị phủ chân không
Thời gian đăng: 09-03-2023