Boshqa qoplama texnologiyalari bilan taqqoslaganda, magnetronli püskürtme qoplamasi quyidagi xususiyatlar bilan tavsiflanadi: ish parametrlari qoplamaning cho'kish tezligi va qalinligining katta dinamik sozlash diapazoniga ega (qoplangan maydonning holati) osongina boshqarilishi mumkin va qoplamaning bir xilligini ta'minlash uchun magnetron nishonining geometriyasida dizayn cheklovlari yo'q; kino qatlamida tomchi zarrachalar muammosi yo'q; deyarli barcha metallar, qotishmalar va keramikalarni maqsadli materiallarga aylantirish mumkin; va maqsadli material aniq nisbatga ega bo'lgan sof metall yoki qotishma qoplamalarini, shuningdek, gaz ishtirokidagi metall reaktiv plyonkalarni yaratishi mumkin bo'lgan DC yoki RF magnetronli püskürtme orqali ishlab chiqarilishi mumkin. DC yoki RF püskürtme orqali nozik va yuqori aniqlikdagi turli xillik talablariga javob beradigan aniq va doimiy nisbatlarga ega sof metall yoki qotishma qoplamalar, shuningdek, gaz ishtirokidagi metall reaktiv plyonkalarni ishlab chiqarish mumkin. Magnitronli püskürtme qoplamasi uchun odatiy jarayon parametrlari: 0,1Pa ish bosimi; maqsadli kuchlanish 300 ~ 700 V; maqsadli quvvat zichligi 1~36W/sm².
Magnitronli chayqalishning o'ziga xos xususiyatlari:
(1) Yuqori yotqizish darajasi. Magnitron elektrodlarini qo'llash tufayli juda katta maqsadli bombardimon ion oqimini olish mumkin, shuning uchun maqsadli yuzada purkash tezligi va substrat yuzasida plyonka cho'kish tezligi juda yuqori.
(2) Yuqori quvvat samaradorligi. Kam energiyali elektronlar va gaz atomlarining to'qnashuvi ehtimoli yuqori, shuning uchun gazning dissotsilanish tezligi sezilarli darajada oshadi. Shunga ko'ra, chiqindi gaz (yoki plazma) ning empedansi sezilarli darajada kamayadi. Shu sababli, shahar dipolli püskürtme bilan solishtirganda, shahar magnetronining püskürtülmesi, ish bosimi 1 ~ 10Pa dan 10-210-1Pa gacha kamaytirilsa ham, püskürtme kuchlanishi minglab voltdan yuzlab voltgacha kamaytirilsa ham, püskürtme samaradorligi va cho'kish tezligi kattalik buyurtmalari bilan oshiriladi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 01-dekabr 2023-yil