① Добра керованість та повторюваність товщини плівки
Контрольованість товщини плівки називається повторюваністю товщини плівки. Необхідну товщину плівки можна повторювати багато разів, що називається повторюваністю товщини плівки. Оскільки струм розряду та струм мішені для вакуумного напилення можна контролювати окремо, товщина напилюваної плівки є контрольованою, і плівка із заданою товщиною може бути надійно нанесена. Крім того, напилення дозволяє отримати плівку з рівномірною товщиною на великій поверхні.
② Міцна адгезія між плівкою та підкладкою
Енергія розпилених атомів на 1-2 порядки вища, ніж енергія випарованих атомів. Перетворення енергії високоенергетичних розпилених атомів, осаджених на підкладці, значно вище, ніж у випарених атомів, що генерує більше тепла та посилює адгезію між розпиленими атомами та підкладкою. Крім того, деякі високоенергетичні розпилені атоми створюють різний ступінь інжекції, утворюючи псевдодифузійний шар на підкладці. Крім того, підкладка завжди очищається та активується в області плазми під час процесу формування плівки, що видаляє розпилені атоми зі слабкою адгезією, очищуючи та активуючи поверхню підкладки. Таким чином, розпилена плівка має міцну адгезію до підкладки.
③ Можна підготувати нову плівку з матеріалу, відмінну від цільової
Якщо під час розпилення ввести реактивний газ, щоб він прореагував з мішенню, можна отримати нову матеріальну плівку, яка повністю відрізняється від мішені. Наприклад, кремній використовується як мішень для розпилення, а кисень та аргон разом подаються у вакуумну камеру. Після розпилення можна отримати ізолюючу плівку SiOz. Використовуючи титан як мішень для розпилення, азот та аргон разом подаються у вакуумну камеру, і після розпилення можна отримати фазову золотоподібну плівку TiN.
④ Висока чистота та гарна якість плівки
Оскільки в пристрої для підготовки напилювальної плівки немає тигельного компонента, компоненти матеріалу нагрівача тигля не змішуватимуться в шарі напилювальної плівки. Недоліками напилювального покриття є те, що швидкість формування плівки менша, ніж у випарного покриття, вища температура підкладки, вона легко піддається впливу газоподібних домішок, а структура пристрою є складнішою.
Цю статтю опубліковано компанією Guangdong Zhenhua, виробникомобладнання для вакуумного покриття
Час публікації: 09 березня 2023 р.