Порівняно з іншими технологіями нанесення покриттів, магнетронне напилення характеризується такими особливостями: робочі параметри мають широкий динамічний діапазон регулювання швидкості нанесення покриття та його товщини (стану покритої ділянки) можна легко контролювати, а також немає конструктивних обмежень щодо геометрії магнетронної мішені, що забезпечує однорідність покриття; немає проблеми з крапельними частинками в шарі плівки; майже всі метали, сплави та кераміка можуть бути перетворені на матеріали мішені; матеріал мішені може бути отриманий за допомогою магнетронного напилення постійного струму або радіочастотного струму, що дозволяє створювати покриття з чистого металу або сплаву з точним співвідношенням, а також металеві реактивні плівки за участю газу. За допомогою постійного струму або радіочастотного напилення можна створювати покриття з чистого металу або сплаву з точними та постійними співвідношеннями, а також металеві реактивні плівки за участю газу, щоб задовольнити вимоги різноманітності тонких плівок та високої точності. Типові параметри процесу магнетронного напилення: робочий тиск 0,1 Па; напруга мішені 300~700 В; щільність потужності мішені 1~36 Вт/см².
Специфічні особливості магнетронного напилення:
(1) Висока швидкість осадження. Завдяки використанню магнетронних електродів можна отримати дуже великий іонний струм бомбардування мішені, тому швидкість травлення розпиленням на поверхні мішені та швидкість осадження плівки на поверхні підкладки є дуже високими.
(2) Висока енергоефективність. Ймовірність зіткнення низькоенергетичних електронів з атомами газу висока, тому швидкість дисоціації газу значно збільшується. Відповідно, імпеданс розрядного газу (або плазми) значно зменшується. Таким чином, магнетронне розпилення постійного струму порівняно з дипольним розпиленням постійного струму, навіть якщо робочий тиск зменшується з 1~10 Па до 10-210-1 Па, напруга розпилення також зменшується з тисяч вольт до сотень вольт, ефективність розпилення та швидкість осадження збільшуються на порядки.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 01 грудня 2023 р.