① Film kalınlığının iyi kontrol edilebilirliği ve tekrarlanabilirliği
Film kalınlığının önceden belirlenmiş bir değerde kontrol edilebilmesine film kalınlığı kontrol edilebilirliği denir. Gerekli film kalınlığı birçok kez tekrarlanabilir, buna film kalınlığı tekrarlanabilirliği denir. Çünkü vakum püskürtme kaplamasının deşarj akımı ve hedef akımı ayrı ayrı kontrol edilebilir. Bu nedenle, püskürtülmüş filmin kalınlığı kontrol edilebilir ve önceden belirlenmiş kalınlığa sahip film güvenilir bir şekilde biriktirilebilir. Ek olarak, püskürtme kaplaması geniş bir yüzeyde düzgün kalınlıkta bir film elde edebilir.
② Film ve alt tabaka arasında güçlü yapışma
Püskürtülen atomların enerjisi buharlaştırılan atomlarınkinden 1-2 büyüklük sırası daha yüksektir. Alt tabaka üzerine biriktirilen yüksek enerjili püskürtülen atomların enerji dönüşümü buharlaştırılan atomlarınkinden çok daha yüksektir, bu da daha yüksek ısı üretir ve püskürtülen atomlar ile alt tabaka arasındaki yapışmayı artırır. Ek olarak, bazı yüksek enerjili püskürtülen atomlar farklı enjeksiyon dereceleri üreterek alt tabaka üzerinde bir psödodifüzyon tabakası oluşturur. Ek olarak, film oluşturma işlemi sırasında alt tabaka her zaman plazma bölgesinde temizlenir ve aktive edilir, bu da zayıf yapışmaya sahip püskürtme atomlarını uzaklaştırır ve alt tabaka yüzeyini arındırır ve aktive eder. Bu nedenle, püskürtülen film alt tabakaya güçlü bir yapışmaya sahiptir.
③ Hedeften farklı yeni bir malzeme filmi hazırlanabilir
Püskürtme sırasında hedefle reaksiyona girmesi için reaktif gaz verilirse, hedeften tamamen farklı yeni bir malzeme filmi elde edilebilir. Örneğin, püskürtme hedefi olarak silikon kullanılır ve oksijen ve argon birlikte vakum odasına konur. Püskürtme sonrasında SiOz yalıtım filmi elde edilebilir. Püskürtme hedefi olarak titanyum kullanılarak, azot ve argon birlikte vakum odasına konur ve püskürtme sonrasında faz TiN altın benzeri film elde edilebilir.
④ Yüksek saflıkta ve iyi kalitede film
Püskürtme film hazırlama cihazında pota bileşeni olmadığından, pota ısıtıcı malzemesinin bileşenleri püskürtme film tabakasında karıştırılmayacaktır. Püskürtme kaplamanın dezavantajları, film oluşturma hızının buharlaşma kaplamasından daha yavaş olması, alt tabaka sıcaklığının daha yüksek olması, safsızlık gazından etkilenmesinin kolay olması ve cihaz yapısının daha karmaşık olmasıdır.
Bu makale, Guangdong Zhenhua adlı bir üretici tarafından yayınlanmıştır.vakum kaplama ekipmanı
Gönderi zamanı: Mar-09-2023