Дар муқоиса бо дигар технологияҳои пӯшиш, пӯшиши пошидани магнетрон бо хусусиятҳои зерин тавсиф карда мешавад: параметрҳои корӣ дорои диапазони бузурги динамикии танзими суръати таҳшиншавии пӯшиш ва ғафсӣ (ҳолати майдони пӯшида) метавонанд ба осонӣ идора карда шаванд ва дар тарҳрезии геометрияи ҳадафи магнетрон маҳдудияти тарҳрезӣ вуҷуд надорад, то якрангии рӯйпӯшро таъмин кунад; дар қабати плёнка мушкилии зарраҳои қатра вуҷуд надорад; кариб хамаи металлхо, ху-лахо ва сафолхоро ба масолехи максаднок сохтан мумкин аст; ва маводи мавриди ҳадаф метавонад тавассути пошидани магнитронии DC ё RF истеҳсол карда шавад, ки метавонад металлҳои тоза ё хӯлаи бо таносуби дақиқ, инчунин филмҳои реактивии металлиро бо иштироки газ тавлид кунад. Тавассути пошидани доимӣ ё RF имкон дорад, ки рӯйпӯшҳои металлии тоза ё хӯлаи дорои таносуби дақиқ ва доимӣ, инчунин плёнкаҳои реактивии металлӣ бо иштироки газ барои қонеъ кардани талаботи гуногунии филми тунук ва дақиқии баланд тавлид карда шаванд. Параметрҳои раванди маъмулӣ барои молидани пошидани магнитрон инҳоянд: фишори кории 0,1Па; шиддати мақсадноки 300 ~ 700V; зичии қувваи мақсадноки 1~36W/cm².
Хусусиятҳои хоси пошидани магнитрон инҳоянд:
(1) Сатҳи баланди пасандоз. Аз ҳисоби истифодаи электродҳои магнетронӣ, ҷараёни хеле калони ионҳои бомбаборони ҳадафро ба даст овардан мумкин аст, аз ин рӯ суръати пошидани пошхӯрӣ дар сатҳи ҳадаф ва суръати рехтани филм дар сатҳи субстрат ҳам хеле баланд аст.
(2) Самаранокии баланди барқ. Эҳтимолияти бархӯрди электронҳои камэнергетикӣ ва атомҳои газ баланд аст, бинобар ин суръати диссоциатсияи газ хеле зиёд мешавад. Мутаносибан, импеданси гази разряд (ё плазма) хеле кам мешавад. Аз ин рӯ, пошидани магнетрони доимӣ дар муқоиса бо пошидани диполҳои DC, ҳатто агар фишори корӣ аз 1 ~ 10Па то 10-210-1Па паст карда шавад, инчунин аз ҳазорҳо вольт ба садҳо вольт кам карда шавад, самаранокии пошидани пошидан ва суръати таҳшиншавӣ бо фармоишҳои калон зиёд мешавад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: Декабри 01-2023