① ఫిల్మ్ మందం యొక్క మంచి నియంత్రణ మరియు పునరావృత సామర్థ్యం
ఫిల్మ్ మందాన్ని ముందుగా నిర్ణయించిన విలువ వద్ద నియంత్రించవచ్చా లేదా అనేది ఫిల్మ్ మందం నియంత్రణ అని పిలుస్తారు. అవసరమైన ఫిల్మ్ మందాన్ని చాలాసార్లు పునరావృతం చేయవచ్చు, దీనిని ఫిల్మ్ మందం పునరావృతం అని పిలుస్తారు. ఎందుకంటే వాక్యూమ్ స్పట్టరింగ్ పూత యొక్క ఉత్సర్గ కరెంట్ మరియు లక్ష్య కరెంట్ను విడిగా నియంత్రించవచ్చు. అందువల్ల, స్పట్టర్డ్ ఫిల్మ్ యొక్క మందం నియంత్రించదగినది మరియు ముందుగా నిర్ణయించిన మందం కలిగిన ఫిల్మ్ను విశ్వసనీయంగా జమ చేయవచ్చు. అదనంగా, స్పట్టరింగ్ పూత పెద్ద ఉపరితలంపై ఏకరీతి మందంతో ఫిల్మ్ను పొందవచ్చు.
② ఫిల్మ్ మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య బలమైన సంశ్లేషణ
చిమ్మిన అణువుల శక్తి ఆవిరైన అణువుల కంటే 1-2 ఆర్డర్ల పరిమాణంలో ఎక్కువ. ఉపరితలంపై నిక్షిప్తం చేయబడిన అధిక-శక్తి చిమ్మిన అణువుల శక్తి మార్పిడి బాష్పీభవించిన అణువుల కంటే చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది, ఇది అధిక వేడిని ఉత్పత్తి చేస్తుంది మరియు చిమ్మిన అణువులు మరియు ఉపరితలం మధ్య సంశ్లేషణను పెంచుతుంది. అదనంగా, కొన్ని అధిక-శక్తి చిమ్మిన అణువులు వివిధ స్థాయిల ఇంజెక్షన్ను ఉత్పత్తి చేస్తాయి, ఉపరితలంపై ఒక సూడోడిఫ్యూజన్ పొరను ఏర్పరుస్తాయి. అదనంగా, ఫిల్మ్ ఫార్మింగ్ ప్రక్రియలో ప్లాస్మా ప్రాంతంలో సబ్స్ట్రేట్ ఎల్లప్పుడూ శుభ్రం చేయబడుతుంది మరియు సక్రియం చేయబడుతుంది, ఇది బలహీనమైన సంశ్లేషణతో చిమ్మిన అణువులను తొలగిస్తుంది మరియు సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలాన్ని శుద్ధి చేస్తుంది మరియు సక్రియం చేస్తుంది. అందువల్ల, చిమ్మిన ఫిల్మ్ సబ్స్ట్రేట్కు బలమైన సంశ్లేషణను కలిగి ఉంటుంది.
③ లక్ష్యానికి భిన్నమైన కొత్త మెటీరియల్ ఫిల్మ్ను తయారు చేయవచ్చు
స్పట్టరింగ్ సమయంలో రియాక్టివ్ గ్యాస్ ప్రవేశపెట్టి లక్ష్యంతో చర్య జరిపేలా చేస్తే, లక్ష్యం నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన కొత్త మెటీరియల్ ఫిల్మ్ పొందవచ్చు. ఉదాహరణకు, సిలికాన్ను స్పట్టరింగ్ లక్ష్యంగా ఉపయోగిస్తారు మరియు ఆక్సిజన్ మరియు ఆర్గాన్లను వాక్యూమ్ చాంబర్లో కలిపి ఉంచుతారు. స్పట్టరింగ్ తర్వాత, SiOz ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్ను పొందవచ్చు. స్పట్టరింగ్ లక్ష్యంగా టైటానియం ఉపయోగించి, నైట్రోజన్ మరియు ఆర్గాన్లను కలిపి వాక్యూమ్ చాంబర్లో ఉంచుతారు మరియు స్పట్టరింగ్ తర్వాత దశ TiN బంగారం లాంటి ఫిల్మ్ను పొందవచ్చు.
④ అధిక స్వచ్ఛత మరియు మంచి నాణ్యత గల చిత్రం
స్పట్టరింగ్ ఫిల్మ్ తయారీ పరికరంలో క్రూసిబుల్ భాగం లేనందున, క్రూసిబుల్ హీటర్ పదార్థం యొక్క భాగాలు స్పట్టరింగ్ ఫిల్మ్ పొరలో కలపబడవు. స్పట్టరింగ్ పూత యొక్క ప్రతికూలతలు ఏమిటంటే, బాష్పీభవన పూత కంటే ఫిల్మ్ ఏర్పడే వేగం నెమ్మదిగా ఉంటుంది, ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత ఎక్కువగా ఉంటుంది, అశుద్ధ వాయువు ద్వారా సులభంగా ప్రభావితమవుతుంది మరియు పరికర నిర్మాణం మరింత క్లిష్టంగా ఉంటుంది.
ఈ వ్యాసం తయారీదారు అయిన గ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా ద్వారా ప్రచురించబడిందివాక్యూమ్ పూత పరికరాలు
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-09-2023

