① படத் தடிமனின் நல்ல கட்டுப்பாடு மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மை
படத் தடிமனை முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட மதிப்பில் கட்டுப்படுத்த முடியுமா என்பது படத் தடிமன் கட்டுப்பாடு எனப்படும். தேவையான படத் தடிமனை பல முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்யலாம், இது படத் தடிமன் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை எனப்படும். ஏனெனில் வெற்றிட ஸ்பட்டரிங் பூச்சுகளின் வெளியேற்ற மின்னோட்டத்தையும் இலக்கு மின்னோட்டத்தையும் தனித்தனியாகக் கட்டுப்படுத்தலாம். எனவே, தெளிக்கப்பட்ட படத்தின் தடிமன் கட்டுப்படுத்தக்கூடியது, மேலும் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட தடிமன் கொண்ட படத்தை நம்பகத்தன்மையுடன் டெபாசிட் செய்யலாம். கூடுதலாக, ஸ்பட்டர் பூச்சு ஒரு பெரிய மேற்பரப்பில் சீரான தடிமன் கொண்ட ஒரு படத்தைப் பெற முடியும்.
② படலம் மற்றும் அடி மூலக்கூறு இடையே வலுவான ஒட்டுதல்
தெளிக்கப்பட்ட அணுக்களின் ஆற்றல் ஆவியாக்கப்பட்ட அணுக்களை விட 1-2 அளவு அதிகமாகும். அடி மூலக்கூறில் படிந்த உயர் ஆற்றல் தெளிக்கப்பட்ட அணுக்களின் ஆற்றல் மாற்றம் ஆவியாக்கப்பட்ட அணுக்களை விட மிக அதிகமாகும், இது அதிக வெப்பத்தை உருவாக்குகிறது மற்றும் தெளிக்கப்பட்ட அணுக்களுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான ஒட்டுதலை அதிகரிக்கிறது. கூடுதலாக, சில உயர் ஆற்றல் தெளிக்கப்பட்ட அணுக்கள் வெவ்வேறு அளவிலான ஊசிகளை உருவாக்குகின்றன, அடி மூலக்கூறில் ஒரு போலி பரவல் அடுக்கை உருவாக்குகின்றன. கூடுதலாக, படலம் உருவாக்கும் செயல்பாட்டின் போது அடி மூலக்கூறு எப்போதும் பிளாஸ்மா பகுதியில் சுத்தம் செய்யப்பட்டு செயல்படுத்தப்படுகிறது, இது பலவீனமான ஒட்டுதலுடன் தெளிக்கப்பட்ட அணுக்களை நீக்கி, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை சுத்திகரித்து செயல்படுத்துகிறது. எனவே, தெளிக்கப்பட்ட படலம் அடி மூலக்கூறுடன் வலுவான ஒட்டுதலைக் கொண்டுள்ளது.
③ இலக்கிலிருந்து வேறுபட்ட புதிய பொருள் படலத்தைத் தயாரிக்கலாம்
தெளிக்கும் போது, இலக்குடன் வினைபுரியச் செய்ய வினைத்திறன் மிக்க வாயு அறிமுகப்படுத்தப்பட்டால், இலக்கிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட ஒரு புதிய பொருள் படலத்தைப் பெறலாம். உதாரணமாக, சிலிக்கான் தெளிக்கும் இலக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஆர்கான் வெற்றிட அறையில் ஒன்றாக வைக்கப்படுகின்றன. தெளித்த பிறகு, SiOz இன்சுலேடிங் படலத்தைப் பெறலாம். தெளித்த இலக்காக டைட்டானியத்தைப் பயன்படுத்தி, நைட்ரஜன் மற்றும் ஆர்கான் வெற்றிட அறையில் ஒன்றாக வைக்கப்படுகின்றன, மேலும் தெளித்த பிறகு கட்ட TiN தங்கம் போன்ற படலத்தைப் பெறலாம்.
④ உயர் தூய்மை மற்றும் நல்ல தரமான படம்
ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிம் தயாரிப்பு சாதனத்தில் க்ரூசிபிள் கூறு இல்லாததால், க்ரூசிபிள் ஹீட்டர் பொருளின் கூறுகள் ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிம் லேயரில் கலக்கப்படாது. ஸ்பட்டரிங் பூச்சுகளின் தீமைகள் என்னவென்றால், ஆவியாதல் பூச்சுகளை விட படம் உருவாக்கும் வேகம் மெதுவாக உள்ளது, அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை அதிகமாக உள்ளது, தூய்மையற்ற வாயுவால் எளிதில் பாதிக்கப்படலாம் மற்றும் சாதன அமைப்பு மிகவும் சிக்கலானது.
இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவாவால் வெளியிடப்பட்டது, இது ஒரு உற்பத்தியாளர்வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள்
இடுகை நேரம்: மார்ச்-09-2023