மற்ற பூச்சு தொழில்நுட்பங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு பின்வரும் அம்சங்களால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது: வேலை செய்யும் அளவுருக்கள் பூச்சு படிவு வேகத்தின் பெரிய டைனமிக் சரிசெய்தல் வரம்பைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் தடிமன் (பூசப்பட்ட பகுதியின் நிலை) எளிதாகக் கட்டுப்படுத்தப்படலாம், மேலும் பூச்சு சீரான தன்மையை உறுதி செய்ய மேக்னட்ரான் இலக்கின் வடிவவியலில் எந்த வடிவமைப்பு வரம்பும் இல்லை; பட அடுக்கில் துளி துகள்களின் பிரச்சனை இல்லை; கிட்டத்தட்ட அனைத்து உலோகங்கள், உலோகக் கலவைகள் மற்றும் மட்பாண்டங்களை இலக்குப் பொருட்களாக உருவாக்கலாம்; மேலும் இலக்குப் பொருளை DC அல்லது RF மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் மூலம் தயாரிக்கலாம், இது துல்லியமான விகிதத்துடன் தூய உலோகம் அல்லது அலாய் பூச்சுகளையும், வாயு பங்கேற்புடன் உலோக எதிர்வினை படலங்களையும் உருவாக்க முடியும். DC அல்லது RF ஸ்பட்டரிங் மூலம், மெல்லிய பட பன்முகத்தன்மை மற்றும் உயர் துல்லியத்தின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய துல்லியமான மற்றும் நிலையான விகிதங்களுடன் தூய உலோகம் அல்லது அலாய் பூச்சுகளையும், வாயு பங்கேற்புடன் உலோக எதிர்வினை படலங்களையும் உருவாக்க முடியும். மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சுக்கான வழக்கமான செயல்முறை அளவுருக்கள்: 0.1Pa வேலை அழுத்தம்; 300~700V இலக்கு மின்னழுத்தம்; 1~36W/cm² இலக்கு சக்தி அடர்த்தி.
மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கின் குறிப்பிட்ட அம்சங்கள்:
(1) அதிக படிவு விகிதம். மேக்னட்ரான் மின்முனைகளைப் பயன்படுத்துவதால், மிகப் பெரிய இலக்கு குண்டுவீச்சு அயனி மின்னோட்டத்தைப் பெற முடியும், எனவே இலக்கு மேற்பரப்பில் ஸ்பட்டர் பொறித்தல் விகிதம் மற்றும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் பட படிவு விகிதம் இரண்டும் மிக அதிகமாக உள்ளன.
(2) அதிக சக்தி திறன். குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் வாயு அணுக்களின் மோதல் நிகழ்தகவு அதிகமாக உள்ளது, எனவே வாயு விலகல் விகிதம் பெரிதும் அதிகரிக்கிறது. அதன்படி, வெளியேற்ற வாயுவின் (அல்லது பிளாஸ்மா) மின்மறுப்பு வெகுவாகக் குறைக்கப்படுகிறது. எனவே, DC இருமுனை ஸ்பட்டரிங் உடன் ஒப்பிடும்போது DC மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங், வேலை அழுத்தம் 1~10Pa இலிருந்து 10-210-1Pa ஆகக் குறைக்கப்பட்டாலும், ஸ்பட்டரிங் மின்னழுத்தம் ஆயிரக்கணக்கான வோல்ட்டுகளிலிருந்து நூற்றுக்கணக்கான வோல்ட்டுகளாகக் குறைக்கப்படுகிறது, ஸ்பட்டரிங் செயல்திறன் மற்றும் படிவு விகிதம் அளவு வரிசைகளால் அதிகரிக்கிறது.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-01-2023