Tabia za mipako ya magnetron sputtering Sura ya 1

Ikilinganishwa na teknolojia nyingine za mipako, mipako ya magnetron sputtering ina sifa ya vipengele vifuatavyo: vigezo vya kazi vina safu kubwa ya marekebisho ya nguvu ya kasi ya utuaji wa mipako na unene (hali ya eneo lililofunikwa) inaweza kudhibitiwa kwa urahisi, na hakuna kizuizi cha kubuni kwenye jiometri ya lengo la magnetron ili kuhakikisha usawa wa mipako; hakuna shida ya chembe za matone kwenye safu ya filamu; karibu metali zote, aloi, na keramik zinaweza kufanywa kuwa nyenzo zinazolengwa; na nyenzo zinazolengwa zinaweza kuzalishwa na DC au RF magnetron sputtering, ambayo inaweza kuzalisha chuma safi au mipako ya alloy na uwiano sahihi, pamoja na filamu za chuma tendaji na ushiriki wa gesi. Kupitia DC au RF sputtering, inawezekana kuzalisha chuma safi au mipako ya aloi na uwiano sahihi na mara kwa mara, pamoja na filamu za chuma tendaji na ushiriki wa gesi, ili kukidhi mahitaji ya utofauti wa filamu nyembamba na usahihi wa juu. Vigezo vya mchakato wa kawaida kwa mipako ya magnetron sputtering ni: shinikizo la kazi la 0.1Pa; voltage lengo la 300 ~ 700V; msongamano wa nguvu unaolengwa wa 1~36W/cm².

Vipengele maalum vya sputtering ya magnetron ni:

(1) Kiwango cha juu cha utuaji. Kutokana na utumizi wa elektrodi za magnetron, ioni ya ioni ya shabaha kubwa sana inaweza kupatikana, kwa hivyo kiwango cha uchomaji wa sputter kwenye uso unaolengwa na kiwango cha utuaji wa filamu kwenye uso wa substrate zote mbili ni za juu sana.

(2) Ufanisi wa juu wa nguvu. Uwezekano wa mgongano wa elektroni za nishati ya chini na atomi za gesi ni mkubwa, kwa hivyo kiwango cha kutengana kwa gesi kinaongezeka sana. Ipasavyo, impedance ya gesi ya kutokwa (au plasma) imepunguzwa sana. Kwa hivyo, kunyunyiza kwa magnetron ya DC ikilinganishwa na kunyunyiza kwa dipole ya DC, hata kama shinikizo la kufanya kazi limepunguzwa kutoka 1 ~ 10Pa hadi 10-210-1Pa voltage ya sputtering pia hupunguzwa kutoka kwa maelfu ya volts hadi mamia ya volts, ufanisi wa sputtering na kiwango cha utuaji huongezeka kwa amri za ukubwa.

- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua