Ha ho bapisoa le mahlale a mang a ho roala, magnetron sputtering coating e tšoauoa ka lintlha tse latelang: litekanyo tse sebetsang li na le lebelo le leholo la phetoho ea lebelo le botenya (boemo ba sebaka se koahetsoeng) se ka laoloa habonolo, 'me ha ho na moeli oa moralo ho geometry ea sepheo sa magnetron ho netefatsa ho ts'oana ha seaparo; ha ho na bothata ba likaroloana tsa marotholi karolong ea filimi; hoo e ka bang litšepe tsohle, li-alloys, le lirafshoa li ka etsoa thepa e lebisitsoeng; 'me thepa e shebiloeng e ka hlahisoa ke DC kapa RF magnetron sputtering, e ka hlahisang tšepe e hloekileng kapa liphaephe tsa alloy ka karolelano e nepahetseng, hammoho le lifilimi tse sebetsang ka tšepe tse nang le karolo ea khase. Ka DC kapa RF sputtering, hoa khoneha ho hlahisa litšepe tse hloekileng kapa tsa alloy tse nang le likarolo tse nepahetseng le tse sa fetoheng, hammoho le lifilimi tse sebetsang ka tšepe tse nang le karolo ea khase, ho finyella litlhoko tsa mefuta-futa ea lifilimi tse tšesaane le ho nepahala ho phahameng. Mekhoa e tloaelehileng ea ts'ebetso bakeng sa ho roala ha magnetron sputtering ke: khatello ea ho sebetsa ea 0.1Pa; sepheo sa motlakase oa 300 ~ 700V; sepheo sa matla a matla a 1 ~ 36W / cm².
Likarolo tse ikhethileng tsa magnetron sputtering ke:
(1) Sekhahla se phahameng sa deposition. Ka lebaka la ts'ebeliso ea li-electrode tsa magnetron, ho ka fumaneha palo e kholo haholo ea li-ion tsa ion tsa sputter, ka hona, sekhahla sa sputter se hohela sebakeng se shebiloeng le sekhahla sa ho beha filimi sebakeng sa substrate ka bobeli li phahame haholo.
(2) Matla a phahameng a matla. Monyetla oa ho thulana ha li-electrone tse nang le matla a tlaase le liathomo tsa khase li phahame, kahoo sekhahla sa ho arohana ha khase se eketseha haholo. Ka lebaka leo, ho sitisoa ha khase e tsoang (kapa plasma) ho fokotsehile haholo. Ka hona, DC magnetron sputtering ha e bapisoa le DC dipole sputtering, le haeba khatello ea ho sebetsa e fokotsehile ho tloha 1 ~ 10Pa ho ea 10-210-1Pa sputtering voltage e boetse e fokotsehile ho tloha liketeng tsa li-volts ho ea ho makholo a li-volts, katleho ea sputtering le deposition rate e eketseha ka litaelo tsa boholo.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Dec-01-2023