У поређењу са другим технологијама наношења премаза, магнетронско распршивање карактеришу следеће карактеристике: радни параметри имају велики динамички опсег подешавања брзине наношења премаза и дебљине (стање пресвучене површине) које се могу лако контролисати, и не постоје ограничења у дизајну геометрије магнетронске мете како би се осигурала уједначеност премаза; нема проблема са честицама капљица у слоју филма; скоро сви метали, легуре и керамика могу се претворити у материјале за мете; а материјал за мету може се произвести једносмерним или РФ магнетронским распршивањем, што може генерисати премазе од чистог метала или легуре са прецизним односом, као и металне реактивне филмове са учешћем гаса. Кроз једносмерно или РФ распршивање могуће је генерисати премазе од чистог метала или легуре са прецизним и константним односима, као и металне реактивне филмове са учешћем гаса, како би се испунили захтеви разноликости танких филмова и високе прецизности. Типични параметри процеса за магнетронско распршивање премаза су: радни притисак од 0,1 Па; напон мете од 300~700 В; густина снаге мете од 1~36 W/цм².
Специфичне карактеристике магнетронског распршивања су:
(1) Висока брзина таложења. Захваљујући употреби магнетронских електрода, може се добити веома велика јонска струја бомбардовања мете, тако да су брзина распршивања нагризања на површини мете и брзина таложења филма на површини подлоге веома високе.
(2) Висока енергетска ефикасност. Вероватноћа судара електрона ниске енергије и атома гаса је висока, тако да се брзина дисоцијације гаса значајно повећава. Сходно томе, импеданса гаса за пражњење (или плазме) је значајно смањена. Стога, код DC магнетронског распршивања у поређењу са DC диполним распршивањем, чак и ако се радни притисак смањи са 1~10 Pa на 10-210-1 Pa, напон распршивања се такође смањује са хиљада волти на стотине волти, ефикасност распршивања и брзина таложења се повећавају за редове величине.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 01.12.2023.