Uiga o le sputtering coatings ata tifaga

① Lelei le pulea ma le toe faia o le mafiafia ata

Pe mafai ona pulea le mafiafia o ata i se tau ua uma ona fa'atulagaina e ta'ua o le mafiafia o ata tifaga. O le mafiafia ata tifaga e mafai ona toe faia mo le tele o taimi, lea e taʻua o le mafiafia o ata tifaga repeatability.Ona o le lafoaia o loʻo i ai nei ma le faʻamoemoega o le vacuum sputtering coating e mafai ona pulea eseese. O le mea lea, o le mafiafia o le sputtered film e mafai ona pulea, ma o le ata tifaga ma le mafiafia na muai fuafuaina e mafai ona teuina ma le faʻamaoni. E le gata i lea, e mafai e le faʻapipiʻiina o le sputter ona maua se ata tifaga ma le mafiafia toniga i luga o se mea tele.

② pipii malosi i le va o ata tifaga ma substrate

O le malosi o atoms sputtered e 1-2 poloaiga o le maualuga maualuga atu nai lo atoms evaporated. O le suiga o le malosi o le malosi maualuga o atoms sputtered e teuina i luga o le substrate e sili atu le maualuga nai lo atoms evaporated, lea e maua ai le vevela maualuga ma faʻaleleia ai le pipii i le va o atoms sputtered ma le substrate. E le gata i lea, o nisi o atoms e faʻafefeteina malosi e maua ai tikeri eseese o tui, e fai ai se pseudodiffusion layer i luga o le substrate. E le gata i lea, o le substrate e faʻamamaina i taimi uma ma faʻagaoioia i le vaega o le plasma i le taimi o le faʻagasologa o ata tifaga, lea e aveesea ai atoms sputtering ma le faʻapipiʻi vaivai, ma faʻamamaina ma faʻagaoioia le substrate surface. O le mea lea, o le ata sputtered e malosi le pipii i le substrate.

③ E mafai ona saunia ata tifaga fou e ese mai le sini

Afai e fa'aofi mai le kasa fa'afoliga i le taimi o le sputtering e fa'afefe ai ma le fa'amoemoe, e mafai ona maua se ata fou e matua'i ese lava mai le fa'amoemoe. Mo se faʻataʻitaʻiga, o loʻo faʻaaogaina le silikoni e fai ma faʻamaufaʻailoga, ma o le okesene ma le argon e tuʻu faʻatasi i totonu o le potu vacuum. A uma le sputtering, e mafai ona maua SiOz insulating ata tifaga. O le faʻaaogaina o le titanium e pei o le sputtering target, nitrogen ma argon e tuʻuina i totonu o le potu gaogao faʻatasi, ma e mafai ona maua le vaega TiN ata tifaga auro pe a uma sputtering.

④ maualuga le mama ma lelei lelei o ata tifaga

Talu ai e leai se vaega faʻafefete i totonu o le masini sauniuni ata tifaga, o le a le faʻafefiloi vaega o le mea faʻavevela faʻafefe i totonu o le ata tifaga sputtering. O le le lelei o le sputtering coating o le saoasaoa o le ata tifaga e sili atu le lemu nai lo le faʻafefe o le faʻafefe, o le vevela o le substrate e maualuga atu, e faigofie ona aʻafia i le kesi le mama, ma o le fausaga o le masini e sili atu ona faigata.

O lenei tusiga ua lomia e Guangdong Zhenhua, o se gaosiga omasini fa'apipi'i gaogao