Uiga o le maneta fa'afefeteina fa'amaneta Mataupu 1

Pe a faatusatusa i isi tekinolosi coating, o le magnetron sputtering coating o loʻo faʻaalia i foliga nei: o le galuega faʻatulagaina o loʻo i ai se tele fetuutuunaiga faʻavavevave o le faʻapipiʻiina o le saosaoa ma le mafiafia (o le tulaga o le mea faʻapipiʻi) e mafai ona faigofie ona pulea, ma e leai se faʻatapulaʻa mamanu i luga o le geometry o le sini magnetron e faʻamautinoa ai le tutusa o le ufiufi; e leai se fa'afitauli o ni matā'ele'ele i totonu o le ata tifaga; toetoe lava o u'amea uma, u'amea, ma ceramics e mafai ona fai ma mea fa'atatau; ma le mea fa'atatau e mafai ona gaosia e le DC po'o le RF magnetron sputtering, lea e mafai ona gaosia mama mama po'o coatings u'amea ma sa'o fua faatatau, fa'apea foi ma u'amea reactive ata ma le kesi auai. E ala i le DC poʻo le RF sputtering, e mafai ona gaosia mama mama poʻo mea faʻapipiʻi faʻapipiʻi faʻatasi ma faʻatusatusaga saʻo ma tumau, faʻapea foʻi ma ata tifaga faʻaalia ma le kesi, e faʻafetaui ai manaʻoga o le eseesega o ata manifinifi ma maualuga maualuga. Fa'ata'ita'iga fa'agasologa masani mo le fa'apipi'iina o le fa'amalo o le magnetron o le: mamafa galue o le 0.1Pa; fua fa'atatau ole 300~700V; fa'atatau mana malosi o le 1~36W/cm².

O uiga faʻapitoa o le magnetron sputtering o:

(1) Tulaga maualuga o le teuina. Ona o le faʻaaogaina o le magnetron electrodes, e mafai ona maua se faʻalavelave faʻafuaseʻi o le pomu i luga o le taimi nei, o lea e maualuga uma ai le fua o le etching sputter i luga o le sini ma le fua o le faʻapipiʻiina o ata i luga o le substrate.

(2) Malosiaga maualuga. O le faʻalavelave faʻafuaseʻi o electrons maualalo-malosi ma kesi atoms e maualuga, o lea e matua faateleina ai le fua o le dissociation kesi. E tusa ai, o le faʻalavelave o le kesi faʻasalalau (poʻo le plasma) ua matua faʻaitiitia. O le mea lea, DC magnetron sputtering faʻatusatusa i le DC dipole sputtering, e tusa lava pe faʻaitiitia le mamafa o galuega mai le 1 ~ 10Pa i le 10-210-1Pa faʻafefeteina voli faʻaititia foi mai le faitau afe o volts i le selau o volts, sputtering lelei ma deposition fua faatatau ua faateleina e poloaiga o le tele.

–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua