① Dobra obvladljivost in ponovljivost debeline filma
Ali je mogoče debelino filma nadzorovati na vnaprej določeni vrednosti, se imenuje nadzorljivost debeline filma. Zahtevano debelino filma je mogoče ponoviti večkrat, kar imenujemo ponovljivost debeline filma. Ker je mogoče praznilni tok in ciljni tok vakuumskega naprševanja nadzorovati ločeno, je debelina naprševanja filma nadzorovana in film z vnaprej določeno debelino je mogoče zanesljivo nanašati. Poleg tega lahko naprševanje doseže film z enakomerno debelino na veliki površini.
② Močna adhezija med filmom in podlago
Energija razpršenih atomov je za 1-2 velikostna reda višja od energije uparjenih atomov. Pretvorba energije visokoenergijskih razpršenih atomov, nanesenih na substrat, je veliko višja kot pri uparjenih atomih, kar ustvarja večjo toploto in izboljša oprijem med razpršenimi atomi in substratom. Poleg tega nekateri visokoenergijski razpršeni atomi proizvajajo različne stopnje vbrizgavanja, ki tvorijo psevdodifuzijsko plast na substratu. Poleg tega se substrat med postopkom oblikovanja filma vedno očisti in aktivira v plazemskem območju, kar odstrani razpršene atome s šibko oprijemljivostjo ter očisti in aktivira površino substrata. Zato ima razpršeni film močno oprijemljivost na substrat.
③ Pripraviti je mogoče nov materialni film, ki se razlikuje od ciljnega
Če med razprševanjem uvedemo reaktivni plin, ki reagira s tarčo, lahko dobimo nov materialni film, ki se popolnoma razlikuje od tarče. Na primer, silicij se uporabi kot tarča za razprševanje, kisik in argon pa se skupaj vneseta v vakuumsko komoro. Po razprševanju lahko dobimo izolacijski film SiOz. Če uporabimo titan kot tarčo za razprševanje, dušik in argon skupaj vnesemo v vakuumsko komoro, po razprševanju pa lahko dobimo fazni film TiN, podoben zlatu.
④ Visoka čistost in dobra kakovost filma
Ker naprava za pripravo brizgalne folije nima komponente lončka, se komponente materiala grelnika lončka ne bodo mešale v plasti brizgalne folije. Slabosti brizgalne prevleke so, da je hitrost oblikovanja folije počasnejša od hitrosti izhlapevanja, temperatura substrata je višja, lažje je vplivati na nečistoče in struktura naprave je bolj zapletena.
Ta članek je objavil Guangdong Zhenhua, proizvajalecoprema za vakuumsko premazovanje
Čas objave: 9. marec 2023