V primerjavi z drugimi tehnologijami nanašanja prevlek za magnetronsko naprševanje so značilne naslednje lastnosti: delovni parametri imajo veliko dinamično območje prilagajanja hitrosti nanašanja prevleke in debeline (stanja prevlečene površine) je mogoče enostavno nadzorovati, ni omejitev glede geometrije magnetronske tarče, kar zagotavlja enakomernost prevleke; ni problema s kapljicami v filmski plasti; skoraj vse kovine, zlitine in keramika se lahko uporabijo za izdelavo tarčnih materialov; tarčni material pa se lahko proizvaja z enosmernim ali radiofrekvenčnim magnetronskim naprševanjem, ki lahko ustvari čiste kovinske ali zlitinske prevleke z natančnim razmerjem, pa tudi kovinsko reaktivne filme z udeležbo plina. Z enosmernim ali radiofrekvenčnim naprševanjem je mogoče ustvariti čiste kovinske ali zlitinske prevleke z natančnimi in konstantnimi razmerji, pa tudi kovinsko reaktivne filme z udeležbo plina, da se izpolnijo zahteve glede raznolikosti tankih filmov in visoke natančnosti. Tipični procesni parametri za magnetronsko naprševanje so: delovni tlak 0,1 Pa; napetost tarče 300~700 V; gostota moči tarče 1~36 W/cm².
Posebne značilnosti magnetronskega razprševanja so:
(1) Visoka hitrost nanašanja. Zaradi uporabe magnetronskih elektrod je mogoče doseči zelo velik ionski tok bombardiranja tarče, zato sta hitrost jedkanja z razprševanjem na površini tarče in hitrost nanašanja filma na površino substrata zelo visoki.
(2) Visoka energetska učinkovitost. Verjetnost trka nizkoenergijskih elektronov in atomov plina je visoka, zato se hitrost disociacije plina močno poveča. Posledično se impedanca razelektritvenega plina (ali plazme) močno zmanjša. Zato se pri enosmernem magnetronskem razprševanju v primerjavi z enosmernim dipolnim razprševanjem, tudi če se delovni tlak zmanjša z 1 ~ 10 Pa na 10 ≈ 210 ≈ 1 Pa, napetost razprševanja pa se zmanjša s tisoč voltov na stotine voltov, učinkovitost razprševanja in hitrost nanašanja pa se povečata za več velikostnih razredov.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 1. dec. 2023