V porovnaní s inými technológiami nanášania povlakov sa magnetrónové naprašovanie vyznačuje nasledujúcimi vlastnosťami: pracovné parametre majú široký dynamický rozsah nastavenia rýchlosti nanášania povlaku a hrúbky (stav potiahnutej plochy) sa dajú ľahko regulovať a neexistujú žiadne konštrukčné obmedzenia týkajúce sa geometrie magnetrónového terča, aby sa zabezpečila rovnomernosť povlaku; neexistuje problém s kvapôčkovými časticami vo vrstve filmu; takmer všetky kovy, zliatiny a keramika sa dajú použiť ako terčové materiály; a terčový materiál sa môže vyrobiť jednosmerným alebo vysokofrekvenčným magnetrónovým naprašovaním, ktoré dokáže generovať povlaky z čistého kovu alebo zliatiny s presným pomerom, ako aj kovovo reaktívne filmy s účasťou plynu. Prostredníctvom jednosmerného alebo vysokofrekvenčného naprašovania je možné generovať povlaky z čistého kovu alebo zliatiny s presnými a konštantnými pomermi, ako aj kovovo reaktívne filmy s účasťou plynu, aby sa splnili požiadavky na diverzitu tenkých vrstiev a vysokú presnosť. Typické procesné parametre pre magnetrónové naprašovanie sú: pracovný tlak 0,1 Pa; terčové napätie 300 ~ 700 V; terčová hustota výkonu 1 ~ 36 W/cm².
Špecifické vlastnosti magnetrónového naprašovania sú:
(1) Vysoká rýchlosť nanášania. Vďaka použitiu magnetrónových elektród je možné dosiahnuť veľmi veľký iónový prúd bombardovania terča, takže rýchlosť leptania naprašovaním na povrchu terča a rýchlosť nanášania filmu na povrch substrátu sú veľmi vysoké.
(2) Vysoká energetická účinnosť. Pravdepodobnosť zrážky nízkoenergetických elektrónov s atómami plynu je vysoká, takže rýchlosť disociácie plynu sa výrazne zvyšuje. V dôsledku toho sa impedancia výbojového plynu (alebo plazmy) výrazne znižuje. Preto sa pri jednosmernom magnetrónovom naprašovaní v porovnaní s jednosmerným dipólovým naprašovaním, aj keď sa pracovný tlak zníži z 1 ~ 10 Pa na 10 * 210 * 1 Pa, naprašovacie napätie sa tiež zníži z tisícov voltov na stovky voltov, čím sa účinnosť naprašovania a rýchlosť naprašovania zvýšia o rády.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 1. decembra 2023