① فلم جي ٿلهي جي سٺي ڪنٽرول ۽ ورجائي جي صلاحيت
ڇا فلم جي ٿولهه کي اڳواٽ مقرر ڪيل قدر تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو ان کي فلم جي ٿولهه ڪنٽرول ڪرڻ جي صلاحيت چئبو آهي. گهربل فلم جي ٿولهه کي ڪيترائي ڀيرا ورجائي سگهجي ٿو, جنهن کي فلم جي ٿولهه ورجائڻ جي صلاحيت سڏيو ويندو آهي. ڇاڪاڻ ته ويڪيوم اسپٽرنگ ڪوٽنگ جي ڊسچارج ڪرنٽ ۽ ٽارگيٽ ڪرنٽ کي الڳ الڳ ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو. تنهن ڪري, اسپٽر ٿيل فلم جي ٿولهه ڪنٽرول ڪرڻ جي قابل آهي, ۽ اڳواٽ مقرر ٿيل ٿولهه واري فلم کي قابل اعتماد طور تي جمع ڪري سگهجي ٿو. ان کان علاوه, اسپٽر ڪوٽنگ هڪ وڏي مٿاڇري تي هڪجهڙائي ٿلهي سان فلم حاصل ڪري سگهي ٿي.
② فلم ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ مضبوط چپکڻ
ڦاٽل ايٽمن جي توانائي بخارات ٿيل ايٽمن جي ڀيٽ ۾ 1-2 آرڊر وڌيڪ هوندي آهي. سبسٽريٽ تي جمع ٿيل اعليٰ توانائي واري ڦاٽل ايٽمن جي توانائي جي تبديلي بخارات ٿيل ايٽمن جي ڀيٽ ۾ تمام گهڻي هوندي آهي، جيڪا وڌيڪ گرمي پيدا ڪري ٿي ۽ ڦاٽل ايٽمن ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ چپکڻ کي وڌائي ٿي. ان کان علاوه، ڪجهه اعليٰ توانائي واري ڦاٽل ايٽمن انجيڪشن جا مختلف درجا پيدا ڪن ٿا، سبسٽريٽ تي هڪ سيوڊوڊفيوژن پرت ٺاهيندا آهن. ان کان علاوه، فلم ٺاهڻ جي عمل دوران سبسٽريٽ هميشه پلازما علائقي ۾ صاف ۽ چالو ڪيو ويندو آهي، جيڪو ڪمزور چپکڻ سان ڦاٽل ايٽمن کي هٽائي ٿو، ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري کي صاف ۽ چالو ڪري ٿو. تنهن ڪري، ڦاٽل فلم کي سبسٽريٽ سان مضبوط چپکڻ آهي.
③ نئين مواد واري فلم تيار ڪري سگهجي ٿي جيڪا ٽارگيٽ کان مختلف هجي
جيڪڏهن رد عمل واري گئس کي اسپٽرنگ دوران متعارف ڪرايو وڃي ته جيئن اهو ٽارگيٽ سان رد عمل ڪري، هڪ نئين مادي فلم ٽارگيٽ کان مڪمل طور تي مختلف حاصل ڪري سگهجي ٿي. مثال طور، سلڪون کي اسپٽرنگ ٽارگيٽ طور استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ آڪسيجن ۽ آرگن کي ويڪيوم چيمبر ۾ گڏ ڪيو ويندو آهي. اسپٽرنگ کان پوءِ، سي اوز انسولٽنگ فلم حاصل ڪري سگهجي ٿي. ٽائيٽينيم کي اسپٽرنگ ٽارگيٽ طور استعمال ڪندي، نائٽروجن ۽ آرگن کي ويڪيوم چيمبر ۾ گڏ ڪيو ويندو آهي، ۽ فيز ٽي اين سون جهڙي فلم اسپٽرنگ کان پوءِ حاصل ڪري سگهجي ٿي.
④ فلم جي اعليٰ پاڪائي ۽ سٺي معيار
جيئن ته اسپٽرنگ فلم تيار ڪرڻ واري ڊوائيس ۾ ڪو به ڪرسيبل جزو ناهي، ڪرسيبل هيٽر مواد جا جزا اسپٽرنگ فلم پرت ۾ نه ملندا. اسپٽرنگ ڪوٽنگ جا نقصان هي آهن ته فلم ٺاهڻ جي رفتار بخارات جي ڪوٽنگ جي ڀيٽ ۾ سست آهي، سبسٽريٽ جو گرمي پد وڌيڪ آهي، نجاست گئس کان متاثر ٿيڻ آسان آهي، ۽ ڊوائيس جي جوڙجڪ وڌيڪ پيچيده آهي.
هي مضمون گوانگ ڊونگ زينهوا پاران شايع ڪيو ويو آهي، جيڪو هڪ ٺاهيندڙ آهيويڪيوم ڪوٽنگ جو سامان
پوسٽ جو وقت: مارچ-09-2023