ٻين ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جي مقابلي ۾، ميگنيٽرون اسپٽرنگ ڪوٽنگ هيٺ ڏنل خاصيتن سان منسوب ڪئي وئي آهي: ڪم ڪندڙ پيرا ميٽرز ۾ ڪوٽنگ جمع ڪرڻ جي رفتار ۽ ٿلهي جي هڪ وڏي متحرڪ ترتيب جي حد آهي (ڪوٽ ٿيل علائقي جي حالت) آساني سان ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو، ۽ ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ميگنيٽرون ٽارگيٽ جي جاميٽري تي ڪا به ڊيزائن جي حد ناهي؛ فلم جي پرت ۾ قطرن جي ذرڙن جو ڪو مسئلو ناهي؛ تقريبن سڀئي ڌاتو، مصر، ۽ سيرامڪس کي نشانو مواد ۾ ٺاهي سگهجي ٿو؛ ۽ ٽارگيٽ مواد ڊي سي يا آر ايف ميگنيٽرون اسپٽرنگ ذريعي پيدا ڪري سگهجي ٿو، جيڪو صحيح تناسب سان خالص ڌاتو يا مصر جي ڪوٽنگ پيدا ڪري سگهي ٿو، انهي سان گڏ گئس جي شموليت سان ڌاتو رد عمل فلمون. ڊي سي يا آر ايف اسپٽرنگ ذريعي، صحيح ۽ مسلسل تناسب سان خالص ڌاتو يا مصر جي ڪوٽنگ پيدا ڪرڻ ممڪن آهي، انهي سان گڏ گئس جي شموليت سان ڌاتو رد عمل فلمون، پتلي فلم جي تنوع ۽ اعلي درستگي جي گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ. ميگنيٽرون اسپٽرنگ ڪوٽنگ لاءِ عام عمل پيرا ميٽر آهن: 0.1Pa جو ڪم ڪندڙ دٻاءُ؛ 300 ~ 700V جو ٽارگيٽ وولٽيج؛ 1 ~ 36W/cm² جو ٽارگيٽ پاور کثافت.
ميگنيٽرون اسپٽرنگ جون خاص خاصيتون آهن:
(1) اعليٰ جمع ڪرڻ جي شرح. ميگنيٽرون اليڪٽروڊس جي استعمال جي ڪري، هڪ تمام وڏو ٽارگيٽ بمباري آئن ڪرنٽ حاصل ڪري سگهجي ٿو، تنهنڪري ٽارگيٽ مٿاڇري تي اسپٽر ايچنگ جي شرح ۽ سبسٽريٽ مٿاڇري تي فلم جمع ڪرڻ جي شرح ٻئي تمام گهڻيون آهن.
(2) اعليٰ طاقت جي ڪارڪردگي. گھٽ توانائي وارن اليڪٽرانن ۽ گئس ايٽمن جي ٽڪراءَ جو امڪان وڌيڪ آهي، تنهن ڪري گئس جي الڳ ٿيڻ جي شرح تمام گهڻي وڌي وئي آهي. ان مطابق، خارج ٿيندڙ گئس (يا پلازما) جي رڪاوٽ تمام گهٽجي وئي آهي. تنهن ڪري، ڊي سي ميگنيٽرون اسپٽرنگ ڊي سي ڊيپول اسپٽرنگ جي مقابلي ۾، جيتوڻيڪ ڪم ڪندڙ دٻاءُ 1~10Pa کان 10-210-1Pa تائين گهٽجي وڃي ته اسپٽرنگ وولٽيج پڻ هزارين وولٽ کان سوين وولٽ تائين گهٽجي ويندي آهي، اسپٽرنگ ڪارڪردگي ۽ جمع ڪرڻ جي شرح شدت جي حڪمن سان وڌي ويندي آهي.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر-01-2023