① Хорошая контролируемость и повторяемость толщины пленки
То, можно ли контролировать толщину пленки на заданном уровне, называется контролируемостью толщины пленки. Требуемая толщина пленки может быть повторена много раз, что называется повторяемостью толщины пленки. Поскольку ток разряда и целевой ток вакуумного напылительного покрытия могут контролироваться отдельно. Таким образом, толщина напыленной пленки контролируется, и пленка с заданной толщиной может быть надежно нанесена. Кроме того, напылительное покрытие может получить пленку с равномерной толщиной на большой поверхности.
② Прочная адгезия между пленкой и подложкой
Энергия распыленных атомов на 1-2 порядка выше, чем у испаренных атомов. Энергетическая конверсия распыленных атомов высокой энергии, осажденных на подложке, намного выше, чем у испаренных атомов, что генерирует больше тепла и усиливает адгезию между распыленными атомами и подложкой. Кроме того, некоторые распыленные атомы высокой энергии производят различную степень инжекции, образуя псевдодиффузионный слой на подложке. Кроме того, подложка всегда очищается и активируется в плазменной области во время процесса формирования пленки, что удаляет распыленные атомы со слабой адгезией, а также очищает и активирует поверхность подложки. Поэтому распыленная пленка имеет сильную адгезию к подложке.
③ Можно подготовить новую пленку материала, отличную от целевого
Если в процессе распыления ввести реактивный газ, чтобы он вступил в реакцию с мишенью, можно получить совершенно иную пленку материала. Например, в качестве мишени распыления используют кремний, а в вакуумную камеру помещают кислород и аргон. После распыления можно получить изолирующую пленку SiOz. При использовании титана в качестве мишени распыления в вакуумную камеру помещают азот и аргон, а после распыления можно получить фазовую пленку TiN, похожую на золото.
④ Высокая чистота и хорошее качество пленки
Поскольку в устройстве для подготовки пленки распыления отсутствует компонент тигля, компоненты материала нагревателя тигля не будут смешиваться в слое пленки распыления. Недостатками покрытия распылением являются то, что скорость формирования пленки ниже, чем у покрытия испарением, температура подложки выше, она легко подвергается воздействию примесного газа, а структура устройства сложнее.
Эта статья опубликована компанией Guangdong Zhenhua, производителемвакуумное напылительное оборудование
Время публикации: 09-03-2023