① Controlabilitate și repetabilitate bune ale grosimii peliculei
Controlul grosimii peliculei la o valoare predeterminată se numește controlabilitatea grosimii peliculei. Grosimea necesară a peliculei poate fi repetată de mai multe ori, ceea ce se numește repetabilitate a grosimii peliculei. Deoarece curentul de descărcare și curentul țintă al acoperirii prin pulverizare în vid pot fi controlate separat, grosimea peliculei pulverizate este controlabilă, iar pelicula cu grosimea predeterminată poate fi depusă în mod fiabil. În plus, acoperirea prin pulverizare poate obține o peliculă cu grosime uniformă pe o suprafață mare.
② Aderență puternică între folie și substrat
Energia atomilor pulverizați este cu 1-2 ordine de mărime mai mare decât cea a atomilor evaporați. Conversia energiei atomilor pulverizați de înaltă energie depuși pe substrat este mult mai mare decât cea a atomilor evaporați, ceea ce generează o căldură mai mare și sporește aderența dintre atomii pulverizați și substrat. În plus, unii atomi pulverizați de înaltă energie produc diferite grade de injecție, formând un strat de pseudodifuzie pe substrat. În plus, substratul este întotdeauna curățat și activat în regiunea plasmatică în timpul procesului de formare a peliculei, ceea ce îndepărtează atomii pulverizați cu aderență slabă și purifică și activează suprafața substratului. Prin urmare, pelicula pulverizată are o aderență puternică la substrat.
③ Se poate prepara o peliculă de material nouă, diferită de cea țintă
Dacă în timpul pulverizării se introduce gaz reactiv pentru a-l face să reacționeze cu ținta, se poate obține o peliculă de material nou, complet diferită de țintă. De exemplu, siliciul este utilizat ca țintă de pulverizare, iar oxigenul și argonul sunt introduse împreună în camera de vid. După pulverizare, se poate obține o peliculă izolatoare de SiOz. Folosind titanul ca țintă de pulverizare, azotul și argonul sunt introduse împreună în camera de vid, iar după pulverizare se poate obține o peliculă asemănătoare aurului în fază TiN.
④ Puritate ridicată și calitate bună a peliculei
Deoarece nu există nicio componentă de creuzet în dispozitivul de preparare a peliculei de pulverizare, componentele materialului încălzitorului creuzetului nu se vor amesteca în stratul de peliculă de pulverizare. Dezavantajele acoperirii prin pulverizare sunt că viteza de formare a peliculei este mai mică decât cea a acoperirii prin evaporare, temperatura substratului este mai mare, este ușor să fie afectat de gazul impurificat și structura dispozitivului este mai complexă.
Acest articol este publicat de Guangdong Zhenhua, un producător deechipament de acoperire în vid
Data publicării: 09 martie 2023