Comparativ cu alte tehnologii de acoperire, acoperirea prin pulverizare magnetronică se caracterizează prin următoarele caracteristici: parametrii de lucru au o gamă largă de ajustare dinamică a vitezei de depunere a acoperirii, iar grosimea (starea zonei acoperite) poate fi ușor controlată și nu există nicio limitare de proiectare a geometriei țintei magnetronice pentru a asigura uniformitatea acoperirii; nu există nicio problemă cu particulele de picături în stratul de film; aproape toate metalele, aliajele și ceramica pot fi transformate în materiale țintă; iar materialul țintă poate fi produs prin pulverizare magnetronică DC sau RF, care poate genera acoperiri din metal pur sau aliaj cu raport precis, precum și pelicule metal reactive cu participare de gaz. Prin pulverizare DC sau RF, este posibil să se genereze acoperiri din metal pur sau aliaj cu raporturi precise și constante, precum și pelicule metal reactive cu participare de gaz, pentru a îndeplini cerințele de diversitate a peliculelor subțiri și precizie ridicată. Parametrii tipici de proces pentru acoperirea prin pulverizare magnetronică sunt: presiunea de lucru de 0,1 Pa; tensiunea țintă de 300~700 V; densitatea de putere țintă de 1~36 W/cm².
Caracteristicile specifice ale pulverizării cu magnetron sunt:
(1) Rată mare de depunere. Datorită utilizării electrozilor magnetron, se poate obține un curent ionic de bombardament al țintei foarte mare, astfel încât rata de gravare prin pulverizare pe suprafața țintei și rata de depunere a peliculei pe suprafața substratului sunt ambele foarte mari.
(2) Eficiență energetică ridicată. Probabilitatea de coliziune a electronilor cu energie scăzută și a atomilor de gaz este mare, astfel încât rata de disociere a gazului este mult crescută. În consecință, impedanța gazului de descărcare (sau a plasmei) este mult redusă. Prin urmare, pulverizarea magnetronică continuă în comparație cu pulverizarea dipol continuă, chiar dacă presiunea de lucru este redusă de la 1~10Pa la 10-210-1Pa, tensiunea de pulverizare este, de asemenea, redusă de la mii de volți la sute de volți, eficiența pulverizării și rata de depunere sunt crescute cu ordine de mărime.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 01.12.2023