① د فلم ضخامت ښه کنټرول او تکرار وړتیا
ایا د فلم ضخامت په ټاکل شوي ارزښت کنټرول کیدی شي د فلم ضخامت کنټرول وړتیا بلل کیږي. د فلم اړین ضخامت ډیری ځله تکرار کیدی شي، کوم چې د فلم ضخامت تکرار وړتیا بلل کیږي. ځکه چې د ویکیوم سپټرینګ کوټینګ خارج کیدو جریان او هدف جریان په جلا توګه کنټرول کیدی شي. له همدې امله، د سپټر شوي فلم ضخامت د کنټرول وړ دی، او فلم د ټاکل شوي ضخامت سره په باوري ډول زیرمه کیدی شي. سربیره پردې، د سپټر کوټینګ کولی شي په لویه سطحه کې د یونیفورم ضخامت سره فلم ترلاسه کړي.
② د فلم او سبسټریټ ترمنځ قوي چپکونکی
د توی شویو اتومونو انرژي د تبخیر شویو اتومونو په پرتله د 1-2 درجې لوړه ده. د لوړ انرژۍ توی شویو اتومونو انرژي بدلون چې په سبسټریټ کې زیرمه شوي د تبخیر شویو اتومونو په پرتله خورا لوړ دی، کوم چې لوړه تودوخه تولیدوي او د توی شویو اتومونو او سبسټریټ ترمنځ چپکتیا زیاتوي. سربیره پردې، ځینې لوړ انرژي توی شوي اتومونه د انجیکشن مختلف درجې تولیدوي، چې په سبسټریټ کې د سیوډوډیفیوژن طبقه جوړوي. سربیره پردې، سبسټریټ تل د فلم جوړولو پروسې په جریان کې د پلازما په سیمه کې پاک او فعال کیږي، کوم چې د ضعیف چپکونکي سره د توییدو اتومونه لرې کوي، او د سبسټریټ سطح پاکوي او فعالوي. له همدې امله، سپټر شوی فلم سبسټریټ ته قوي چپکونکی لري.
③ د هدف څخه مختلف مواد لرونکی نوی فلم چمتو کیدی شي
که چیرې د سپټرینګ په جریان کې د عکس العمل ګاز معرفي شي ترڅو دا د هدف سره عکس العمل وکړي، نو یو نوی مادي فلم چې د هدف څخه په بشپړ ډول توپیر لري ترلاسه کیدی شي. د مثال په توګه، سیلیکون د سپټرینګ هدف په توګه کارول کیږي، او اکسیجن او ارګون یوځای د ویکیوم چیمبر ته اچول کیږي. د سپټرینګ وروسته، د سی اوز انسولیټینګ فلم ترلاسه کیدی شي. د سپټرینګ هدف په توګه د ټایټانیوم په کارولو سره، نایتروجن او ارګون یوځای د ویکیوم چیمبر ته اچول کیږي، او د TiN د سرو زرو په څیر فلم د سپټرینګ وروسته ترلاسه کیدی شي.
④ لوړ پاکوالی او د فلم ښه کیفیت
څرنګه چې د سپټرینګ فلم چمتو کولو وسیله کې د کروسیبل اجزا نشته، د کروسیبل هیټر موادو اجزا به د سپټرینګ فلم پرت کې نه مخلوط کیږي. د سپټرینګ کوټینګ زیانونه دا دي چې د فلم جوړولو سرعت د تبخیر کوټینګ په پرتله ورو دی، د سبسټریټ تودوخه لوړه ده، د ناپاکۍ ګاز لخوا اغیزمن کیدل اسانه دي، او د وسیلې جوړښت ډیر پیچلی دی.
دا مقاله د ګوانګ دونګ ژین هوا لخوا خپره شوې، چې دد ویکیوم کوټینګ تجهیزات
د پوسټ وخت: مارچ-۰۹-۲۰۲۳