د نورو کوټینګ ټیکنالوژیو په پرتله، د میګنیټرون سپټرینګ کوټینګ د لاندې ځانګړتیاو لخوا مشخص شوی: کاري پیرامیټرونه د کوټینګ جمع کولو سرعت او ضخامت (د لیپت شوي ساحې حالت) لوی متحرک تنظیم کولو حد لري چې په اسانۍ سره کنټرول کیدی شي، او د کوټینګ یووالي ډاډمن کولو لپاره د میګنیټرون هدف جیومیټري کې هیڅ ډیزاین محدودیت شتون نلري؛ د فلم پرت کې د څاڅکو ذراتو کومه ستونزه نشته؛ نږدې ټول فلزات، الیاژونه، او سیرامیکونه د هدف موادو کې جوړ کیدی شي؛ او هدف مواد د DC یا RF میګنیټرون سپټرینګ لخوا تولید کیدی شي، کوم چې کولی شي د دقیق تناسب سره خالص فلز یا الیاژ کوټینګونه تولید کړي، او همدارنګه د ګاز ګډون سره د فلزي عکس العمل فلمونه. د DC یا RF سپټرینګ له لارې، دا ممکنه ده چې د دقیق او ثابت تناسب سره خالص فلز یا الیاژ کوټینګونه تولید کړئ، او همدارنګه د ګاز ګډون سره د فلزي عکس العمل فلمونه، ترڅو د پتلي فلم تنوع او لوړ دقت اړتیاوې پوره کړي. د میګنیټرون سپټرینګ کوټینګ لپاره د پروسې عادي پیرامیټرونه دا دي: د 0.1Pa کاري فشار؛ د 300 ~ 700V هدف ولټاژ؛ د 1 ~ 36W/cm² هدف بریښنا کثافت.
د مقناطیسي سپټرینګ ځانګړي ځانګړتیاوې په لاندې ډول دي:
(۱) د لوړ جمع کولو کچه. د میګنیټرون الکترودونو کارولو له امله، د هدف بمبارۍ لپاره خورا لوی ایون جریان ترلاسه کیدی شي، نو د هدف په سطحه د سپټر ایچینګ کچه او د سبسټریټ سطحه د فلم جمع کولو کچه دواړه خورا لوړ دي.
(۲) د بریښنا لوړ موثریت. د ټیټ انرژۍ الکترونونو او ګاز اتومونو د ټکر احتمال لوړ دی، نو د ګاز د جلا کیدو کچه خورا لوړه شوې ده. په همدې اساس، د خارجیدونکي ګاز (یا پلازما) د خنډ کچه خورا کمه شوې ده. له همدې امله، د DC مقناطیسي سپټرینګ د DC ډایپول سپټرینګ په پرتله، حتی که د کار فشار له 1~10Pa څخه 10-210-1Pa ته راټیټ شي د سپټرینګ ولټاژ هم د زرګونو ولټو څخه سلګونو ولټو ته راټیټیږي، د سپټرینګ موثریت او د زیرمو کچه د شدت امرونو سره لوړیږي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: دسمبر-۰۱-۲۰۲۳